位移、位移传感器、直线位移、位移测定及生产工艺技术
0051-0001、 可调整的探头
摘要、 接触触发的探头包括一固定的部分和一可移动的接触式探针，该固定的部分设计用于紧固到一测量机器上或者一机床上，该可移动的接触式探针可以沿多个空间的方向在两个独立的轴线上取向。
0111-0002、 从条纹图像提取圆形区域的方法
摘要、 一种圆形区域提取方法将在被观察区域内具有待分析的圆形区域的样品的条纹图像拍摄到一坐标系统上，通过条纹分析方法在该坐标系统上对该区域的条纹图像进行二进制编码，将彼此平行、具有预定间隔的多个线性光栅设置在经过二进制编码的坐标系统上，并使用该线性光栅，以便在该坐标系统上提取一代表被分析区域的圆形图像区域。
0142-0003、 电容检测装置及其驱动方法、指纹传感器和生物识别装置
本发明提供一种检测精度高的指纹传感器。为了解决相关的问题，本发明的指纹传感器包括：将静电电容检测电路配置成矩阵形状的矩阵部，该静电电容检测电路输出与和指纹间形成的静电电容相对应的检测信号；以及放大电路，其用于放大该检测信号。放大电路具有作为用于将检测信号输出到静电电容检测电路的信号源的功能。检测信号被构成为使得从放大电路经由静电电容检测电路而传送到低电位电源线上。
0148-0004、 多坐标感知测量装置
摘要、 一种多坐标感知测量装置其中弹性预张紧到在壳体(3)中的一个静止位置的一根感知杠杆(5)，以这样一种方式安装，从而它能沿测量轴线(7)移动，并且相对于所述测量轴线(7)能横向枢转运动。一个连接件(25)在测量轴线(7)的方向上在壳体(3)的一个导向表面(23)中被可移动地导向。当感知臂(5)在测量轴线(7)的方向上移动时以及当感知臂(5)在(7)的方向上偏转时，感知杠杆经一个联接齿轮机构驱动连接件(25)。一个测量装置(21)探测与壳体(3)有关的连接件(25)的位置。连接件(25)和导向表面(23)形成用于与一个滚珠轴承结构(27)有关的滚珠轴承(65)的支撑表面。元件，即连接件(25)和壳体(3)，的至少一个的支撑表面相对于所述支撑表面以横向方式弹性弯曲，所述支撑表面把滚珠轴承(65)保持在紧固位置而在支撑表面之间没有松动。连接件(25)和，或壳体(3)由铝或铝合金组成，并且覆盖有较薄的硬电镀层，由此滚珠轴承(65)能进入其中的运行轨道。所述感知测量装置能以较大公差生产，而连接件(25)在壳体(3)中能以基本松?自由的方式可移动地被导向。
0186-0005、 一种地下洞室、隧道非接触式收敛监测的方法
摘要、 本发明公开了一种地下洞室、隧道非接触式收敛监测的方法涉及岩土工程表面变形收敛监测。该方法在洞室的横截面上埋设反光靶标作为测点，每两个测点之间成测线，在能观测到测点处架设电子全站仪，测出测点的三维坐标，根据距离公式算出每两个测点间的三维距离，不同期次测得的三维距离值与第一次测得的三维距离值之差为该两测点之间测线的收敛值。本发明节时、方便、快捷和实用，测量时无需每次接近测点电 子全站仪可以自由设置在能够观测到测点的地方无需强制对中，测量数据可以自动记录，能方便地采用计算机进行后处理，实现快速监测、快速反馈以指导施工，适合于地下洞室、隧道等施工现场。
0070-0006、 光纤装置及其制造方法、光轴调整方法
摘要、 本发明涉及作为侧面型光纤传感器头能很好使用的光纤装置及其制造方法。本发明的目的在于提供一种没有烦杂的作业而能方便地设置可以安装在狭小的地方，而且可作为高精度传感器使用，并在传感器设置时能方便地进行光轴的调整的光纤装置。该光纤装置具有：光纤、支撑光纤的光纤支撑部、与光纤的端面相对配置的反射部件、支撑反射部件的反射部件支撑部，其特征在于：光纤支撑部及反射部件支撑部的各方具有连接部，且光纤支撑部及反射部件支撑部的至少一方可转动，利用这些连接部可将光纤支撑部及反射部件支撑部相互连接固定。
0007-0007、 物体表面三维形貌量测方法和系统
摘要、 一种物体表面三维形貌的量测方法和系统，其包括：能投射出条纹图案的投射装置并把此图案投射至待测物体上；利用多线结构的光电感测元件成像系统、条纹图案的投射装置和待测物的相对位置移动，藉以达成取像以及条纹图案相位移动的双重目的，必要时再加上适当的斜角及感测元件的光度校正，可进一步提高精确度；经由多线结构的光电感测元件成像系统，取得因物体表面高低起伏所造成的光强度调变影像；最后通过相移干涉分析方法及投射光源的几何关系，来得出相对于某一参考平面，物体表面轮廓的高低起伏；本发明除了解析度可达与利用传统相移式相同的精度等级外，更有其速度快的优点，并可大量的利用在工业界的线上检测。
0127-0008、 半导体泵浦全固体激光多功能电子散斑干涉仪
摘要、 本发明涉及一种半导体泵浦全固体激光多功能电子散斑干涉仪，包括测量装置及处理测量数据的计算机构成，其特点是，测量装置包括箱体、激光源、光路部件、成像部件、分光器件；激光源设置在箱体内前部；光路部件由若干个反射镜、一分光棱镜以及若干个扩束镜组件组成；成像部件由设置在箱体后部内的摄像头和设置在箱体后部外的成像镜前、后对应设置构成；摄像头的信号输出端通过数据总线与计算机的输入端连接；分光器件设置在成像镜前端部。更换或改变光路部件中个别元件的位置由摄像头获取被测件的图像，输入计算机中程序处理，可测得物体变形后的高精度离面位移、面内位移、离面位移梯度；在屏幕上显示干涉条纹，使用方便，功能强。
0135-0009、 对准键合精度检测系统
摘要、 本发明涉及一种对准键合精度检测系统，其特征在于它包括：一显微镜，一螺旋游标测量目镜，一CCD摄像机，一图像显示器，一红外光源，所述螺旋游标测量目镜连接在所述显微镜的垂直目镜的接口上，所述CCD摄像机连接在所述螺旋游标测量目镜上，所述图像显示器通过视频电缆与所述CCD摄像机连接，所述红外光源设置在所述显微镜的承片台下方。本发明利用在近红外区硅片具有较好的红外通过能力，CCD摄像机对红外光具有较好的成像质量，以及螺旋游标测量目镜对键合误差具有较精确的测量效果等特点，将其与显微镜结合成一体，为微电子机械系统(MEMS)加工技术提供了一种有效的测量手段。它可以广泛用于各种硅MEMS器件加工工艺过程的质量监控中，还可以作为可见光黑白图像的摄像测量显微镜使用。
0055-0010、 角度传感器
摘要、 一种角度传感器，包括固定于旋转轴上的磁铁和设置于中性探测位置C以使其朝向磁铁的霍耳装置由此根据霍耳装置的输出探测磁铁的旋转角度。磁性体附于磁铁的各个磁极以使在轴的圆周上最大磁通量部分远离中性探测位置C，所以使得磁通量分布偏向与霍耳装置相反的方向。
0082-0011、 电光角度测量装置
161-0012、 一种尺带收放灵活的卷尺
0193-0013、 表面特性测量机及其校正方法、校正程序、记录媒体
0150-0014、 位移检测方法、位移检测装置及其校正方法、及信息记录媒体母盘的记录装置
066-0015、 一种用于确定堆积物体如板状物体的边缘表面位置的方法和装置
045-0016、 测量探针，尤其用于一种测量薄层厚度的装置
048-0017、 测量特别是烟草加工业的棒状物的直径的装置和方法
041-0018、 基板位置偏差检测装置及基板位置偏差检测方法
064-0019、 确定扁平带状电缆的导线路径区域中的绝缘层厚度的方法和设备
0002-0020、 一种测量印刷电路板变形的方法
029-0021、 一种高清晰度投影仪装置
062-0022、 电感式传感器和配置此传感器的旋转发送器
0128-0023、 一种测量宽带光源双光束干涉零光程差位置的方法
024-0024、 使用电子尺配合电子量测仪测量的方法和装置
021-0025、 长度测量装置
091-0026、 可调精度的神经网络摄像机标定方法
047-0027、 机器人清洁装置位置标记检测法和用该方法的机器人清洁装置
060-0028、 一种绝对式矩阵编码器粗码译码校正的方法及其电路
0023-0029、 高精度单F－P板角位移测量仪
0129-0030、 工件表面粗糙度测量方法及装置
033-0031、 一种实现阿贝误差实时补偿的激光干涉测长系统
0162-0032、 钻孔测斜和轴向变形三维共线测量环
0153-0033、 光轴与安装基面平行度的检验方法
080-0034、 宽频白光干涉仪
0028-0035、 机器人直线轨迹特性测量方法及所用测量装置
115-0036、 光学校准机自动测量方法
078-0037、 探测系统
0151-0038、 容栅直移式数显千分尺
0203-0039、 三维坐标测量仪用量器
0034-0040、 影像测量系统和方法
177-0041、 摩托车方向轮的转向角度及扭矩的测量方法
175-0042、 非接触数字磁条、光栅条读出式位移传感器
0122-0043、 位置探测法和装置、曝光法和设备、控制程序以及器件制造法
123-0044、 用于获取机械零件由热引起的纵向膨胀量的装置
018-0045、 测量光学透明体的光学和物理厚度的方法
059-0046、 测定装置
108-0047、 卷尺
0008-0048、 薄膜厚度测量装置和反射系数测量与异物检测装置和方法
095-0049、 用于扫描刻度体的扫描单元
0004-0050、 一种结构光视觉传感器的标定方法
107-0051、 表面特性测量方法及坐标测量装置
180-0052、 对相位差不敏感的交点跟踪式莫尔（干涉）条纹信号计数细分方法及装置
013-0053、 一种立式大口径非球面镜检验装置
181-0054、 显微镜聚焦测高方法
170-0055、 媒体分配器的媒体检测方法
144-0056、 一种反射尺读头装置
003-0057、 基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统
0205-0058、 位置测量装置及运行位置测量装置的方法
090-0059、 具有高空间分辨力的整形环形光束式差动共焦传感器
0020-0060、 直角测量装置
071-0061、 用于检测可在坐标轴上移动的滑架的空间位置的装置
093-0062、 磁性编码器
0077-0063、 用于检测多坐标测量仪中探头元件位置的装置
124-0064、 借助坐标测量仪测量物体几何形状的方法
190-0065、 一种波高测量方法
194-0066、 检测厚度的传感器
0073-0067、 夹紧装置的倾斜调整方法
081-0068、 机器视觉检测系统与方法
116-0069、 二维编码式零位对准标记和编码方法
208-0070、 自载入空间参考点阵列
0136-0071、 一种空间三维自由曲线的测量方法
040-0072、 测量和水平校准装置及其使用方法
105-0073、 形状测定装置
025-0074、 超精密零件长度直接测量装置
053-0075、 可调整的探头
0134-0076、 非接触三维形状测定方法及装置
165-0077、 基于显微干涉技术的微机电系统的测试装置与方法
121-0078、 利用衍射特征的分析对焦点中心的判断
0037-0079、 高分辨率气量计式接近传感器
0015-0080、 测量参考面旁边通过的部件与参考面间距离的方法及系统
0017-0081、 用于无毁损地测量薄层厚度的装置
011-0082、 转动角度检测装置
038-0083、 光学定位系统和计算该光学定位系统移动值的方法
185-0084、 一种带内外隔圈双列圆锥轴承轴向游隙的测量装置和方法
159-0085、 微型倾角器
0187-0086、 光学三维测量用高精密组合光栅器件
0101-0087、 油气管道壁厚及缺陷检测系统
0202-0088、 测量系统中的方法和装置
149-0089、 测量及教学直尺
0209-0090、 双向引张线装置
014-0091、 显微镜机械筒长测量装置及测量方法
031-0092、 表面安装芯片封装
0200-0093、 卡尺
0099-0094、 导光板网点测量方法
210-0095、 电感调频式智能数码位移传感器
0130-0096、 高度测量机
0067-0097、 位移测定器
0050-0098、 电机的测量装置和测量方法
204-0099、 利用二维反射计测量多层薄膜的厚度轮廓和折射率分布的装置及其测量方法
087-0100、 小型在线径向剪切干涉仪及其测量非球面的方法
046-0101、 用于测量高线性磁通密度的角位置传感器
0211-0102、 冰层厚度传感器及其检测方法
068-0103、 检测陶瓷插芯开口夹角的方法及其装置
109-0104、 一种容栅位移传感器及其制作方法
036-0105、 测定装置
035-0106、 并行像散三维光聚焦探测方法及装置
184-0107、 动态角度测量装置
140-0108、 一种油气井井下套管径向检测方法
042-0109、 确定包括体积力作用的层状和渐变结构的大形变和应力
0132-0110、 电站锅炉回转式空气预热器间隙传感器
0173-0111、 大坝面板挠度或坝体内部变形监测方法及其装置
022-0112、 介电层厚度的测量方法及其装置
160-0113、 一种光纤准直器阵列对准调节装置
016-0114、 钢琴琴键排列平整性测量器
0171-0115、 半导体激光器安装对准和校准的方法
183-0116、 辊嘴间距测量方法及传感器
0092-0117、 磁悬浮微运动平台高度测量与校正方法及其装置
044-0118、 尺子
0166-0119、 多量子阱红外探测材料的结构层厚获取方法
143-0120、 静电电容检测装置
001-0121、 定位仪
0198-0122、 使用光纤接收器通道的绝对位置小型光栅编码器读头
0096-0123、 一种测量纱线截面形状的方法及装置
169-0124、 轧制过程预测钢板厚度的方法
075-0125、 工件的内径尺寸测量方法及装置
097-0126、 测量仪
0083-0127、 具有高空间分辨力的差动共焦扫描检测方法
120-0128、 变面积电容式数字并行输出型角位移传感器
0137-0129、 用于测量移动通信基站天线的资源信息的方法和装置
189-0130、 三坐标精密移动平台
0076-0131、 电子部件安装装置校正方法和使用该方法的装置
085-0132、 直线位移容栅式全防水电子数显卡尺
0117-0133、 识别移动机器人位置和方向的装置和方法
155-0134、 非接触测量系统和方法
138-0135、 一种自由曲面的测量方法
049-0136、 利用影像测定方位的方法
106-0137、 自校准位置确定系统和用户界面
0178-0138、 具有防水功能的大量程位移传感器
0057-0139、 玻璃基板与IC压合偏移量检测装置及方法
131-0140、 用于测量成形目标的成形的非接触电容式位移传感器
0110-0141、 机械形变量检测传感器
0065-0142、 一种电子显微镜测量物质长度的方法
191-0143、 多功能三维位移激光干涉测量系统
0010-0144、 导光板网点测量定位尺及其测量方法
019-0145、 利用散射测量的线路轮廓不对称测量法
009-0146、 用于焊接检测的特征量计算设备
0043-0147、 共焦点显微镜、光学式高度测定方法及自动聚焦方法
179-0148、 微透镜结构参数及面形畸变的快速检测方法
157-0149、 大跨径桥梁结构挠度监测方法
182-0150、 狭缝间距测量方法及传感器
0103-0151、 标记位置检测装置
152-0152、 X射线双频全息干涉仪
0147-0153、 用于测定导轨平直度的方法和装置
206-0154、 利用投射干涉条纹及评价绝对相位映射的三维成像
0012-0155、 位置检测方法及位置检测装置
032-0156、 用于汽车的位置检测可变电阻
0197-0157、 光移动量检测装置、电子设备以及传送处理系统
0100-0158、 无源磁性位置传感器，用于制造无源磁性位置传感器的方法
156-0159、 一种采用三圈码道输出十三位码的绝对式矩阵编码盘
0125-0160、 电梯的绳索规
0072-0161、 光学元件的制造方法
195-0162、 感应式旋转角度传感器和以此配备的自动同步发送机
0199-0163、 位移计和位移测定方法
086-0164、 图像识别用面光源装置
188-0165、 用频闪结构照明实现高速运动物体三维面形测量的方法
207-0166、 激光线发生装置
063-0167、 利用磁场测量结果分析分离表面之间间隔的方法和设备
0104-0168、 用于根据检查结果筛选工件的设备和方法
168-0169、 便携式空间相对坐标及距离测量系统
0030-0170、 平面度检测方法及使用这种方法的检测装置
172-0171、 一种重力感应倾角传感器
0126-0172、 一种精密坐标测量方法及其装置
052-0173、 可调整的探头
0118-0174、 位移传递的大比例缩微及振弦差动变化机构
0113-0175、 样品的倾斜误差调整的辅助方法
026-0176、 用于测定辊与对象物之间距离的卡具和距离测定方法
154-0177、 用于浸入式光刻的液流接近探测器
0006-0178、 测量薄层厚度的设备
0163-0179、 钻孔测斜和轴向变形三维共线测量方法
174-0180、 坝体面板挠度或坝体内部水平及垂直变形的测量系统
0088-0181、 无扫描物镜的光学扫描外径测量系统及其测量方法
176-0182、 牵轴式位移传感器
0039-0183、 自校准位置测定系统
0201-0184、 用于提高光声膜厚度测量系统中的信噪比的方法和设备
0079-0185、 超精密回转基准空间误差自分离方法与装置
069-0186、 一种霍尔位置传感器
0141-0187、 人体毛孔孔径位移传感器及其信号处理电路
0054-0188、 可调整的探头
0119-0189、 变面积电容式模拟调制输出型角位移传感器
0098-0190、 测定装置
089-0191、 用双色光栅模板产生π相移实现傅里叶变换轮廓术的方法
133-0192、 器件检验
0192-0193、 一种光学镀膜近红外膜厚监控仪
0058-0194、 外观检测装置以及图象获得方法
139-0195、 利用液体获取产品几何形状的方法及其装置
094-0196、 一种精密平行度测量方法
114-0197、 倾斜调节装置套圈夹持装置及装有上述装置的干涉仪装置
005-0198、 一种多视觉传感器检测系统全局标定方法
167-0199、 准直测量装置
102-0200、 用于位置测量系统的计量器
0112-0201、 电缆绝缘层厚度X光检测方法
146-0202、 带有平坦度测量辊的薄带材卷取机
0027-0203、 接触式物体位姿测量装置
061-0204、 摆线型机油泵内、外转子测量方法
084-0205、 差动离焦并行全场三维检测方法及装置
056-0206、 用于低相干性测量和高相干性测量的干涉仪设备及方法
164-0207、 一种真空激光坝变形测量方法
196-0208、 路径匹配路径型干涉仪装置
158-0209、 一种测量电磁轴承转子轴向位移的方法
145-0210、 测量仪
0074-0211、 缺陷检查装置、缺陷检查方法和孔图形的检查方法
212-0212、 一种可调光学移相器及移相过程
购买以上《位移、位移传感器、直线位移、位移测定及生产工艺技术》生产工艺技术资全套200元,含邮费,本市五大区可办理货到付款,咨询手机号也是微信号:15542181913 13889286189【点这进入购买帮助】
摘要、 接触触发的探头包括一固定的部分和一可移动的接触式探针，该固定的部分设计用于紧固到一测量机器上或者一机床上，该可移动的接触式探针可以沿多个空间的方向在两个独立的轴线上取向。
0111-0002、 从条纹图像提取圆形区域的方法
摘要、 一种圆形区域提取方法将在被观察区域内具有待分析的圆形区域的样品的条纹图像拍摄到一坐标系统上，通过条纹分析方法在该坐标系统上对该区域的条纹图像进行二进制编码，将彼此平行、具有预定间隔的多个线性光栅设置在经过二进制编码的坐标系统上，并使用该线性光栅，以便在该坐标系统上提取一代表被分析区域的圆形图像区域。
0142-0003、 电容检测装置及其驱动方法、指纹传感器和生物识别装置
本发明提供一种检测精度高的指纹传感器。为了解决相关的问题，本发明的指纹传感器包括：将静电电容检测电路配置成矩阵形状的矩阵部，该静电电容检测电路输出与和指纹间形成的静电电容相对应的检测信号；以及放大电路，其用于放大该检测信号。放大电路具有作为用于将检测信号输出到静电电容检测电路的信号源的功能。检测信号被构成为使得从放大电路经由静电电容检测电路而传送到低电位电源线上。
0148-0004、 多坐标感知测量装置
摘要、 一种多坐标感知测量装置其中弹性预张紧到在壳体(3)中的一个静止位置的一根感知杠杆(5)，以这样一种方式安装，从而它能沿测量轴线(7)移动，并且相对于所述测量轴线(7)能横向枢转运动。一个连接件(25)在测量轴线(7)的方向上在壳体(3)的一个导向表面(23)中被可移动地导向。当感知臂(5)在测量轴线(7)的方向上移动时以及当感知臂(5)在(7)的方向上偏转时，感知杠杆经一个联接齿轮机构驱动连接件(25)。一个测量装置(21)探测与壳体(3)有关的连接件(25)的位置。连接件(25)和导向表面(23)形成用于与一个滚珠轴承结构(27)有关的滚珠轴承(65)的支撑表面。元件，即连接件(25)和壳体(3)，的至少一个的支撑表面相对于所述支撑表面以横向方式弹性弯曲，所述支撑表面把滚珠轴承(65)保持在紧固位置而在支撑表面之间没有松动。连接件(25)和，或壳体(3)由铝或铝合金组成，并且覆盖有较薄的硬电镀层，由此滚珠轴承(65)能进入其中的运行轨道。所述感知测量装置能以较大公差生产，而连接件(25)在壳体(3)中能以基本松?自由的方式可移动地被导向。
0186-0005、 一种地下洞室、隧道非接触式收敛监测的方法
摘要、 本发明公开了一种地下洞室、隧道非接触式收敛监测的方法涉及岩土工程表面变形收敛监测。该方法在洞室的横截面上埋设反光靶标作为测点，每两个测点之间成测线，在能观测到测点处架设电子全站仪，测出测点的三维坐标，根据距离公式算出每两个测点间的三维距离，不同期次测得的三维距离值与第一次测得的三维距离值之差为该两测点之间测线的收敛值。本发明节时、方便、快捷和实用，测量时无需每次接近测点电 子全站仪可以自由设置在能够观测到测点的地方无需强制对中，测量数据可以自动记录，能方便地采用计算机进行后处理，实现快速监测、快速反馈以指导施工，适合于地下洞室、隧道等施工现场。
0070-0006、 光纤装置及其制造方法、光轴调整方法
摘要、 本发明涉及作为侧面型光纤传感器头能很好使用的光纤装置及其制造方法。本发明的目的在于提供一种没有烦杂的作业而能方便地设置可以安装在狭小的地方，而且可作为高精度传感器使用，并在传感器设置时能方便地进行光轴的调整的光纤装置。该光纤装置具有：光纤、支撑光纤的光纤支撑部、与光纤的端面相对配置的反射部件、支撑反射部件的反射部件支撑部，其特征在于：光纤支撑部及反射部件支撑部的各方具有连接部，且光纤支撑部及反射部件支撑部的至少一方可转动，利用这些连接部可将光纤支撑部及反射部件支撑部相互连接固定。
0007-0007、 物体表面三维形貌量测方法和系统
摘要、 一种物体表面三维形貌的量测方法和系统，其包括：能投射出条纹图案的投射装置并把此图案投射至待测物体上；利用多线结构的光电感测元件成像系统、条纹图案的投射装置和待测物的相对位置移动，藉以达成取像以及条纹图案相位移动的双重目的，必要时再加上适当的斜角及感测元件的光度校正，可进一步提高精确度；经由多线结构的光电感测元件成像系统，取得因物体表面高低起伏所造成的光强度调变影像；最后通过相移干涉分析方法及投射光源的几何关系，来得出相对于某一参考平面，物体表面轮廓的高低起伏；本发明除了解析度可达与利用传统相移式相同的精度等级外，更有其速度快的优点，并可大量的利用在工业界的线上检测。
0127-0008、 半导体泵浦全固体激光多功能电子散斑干涉仪
摘要、 本发明涉及一种半导体泵浦全固体激光多功能电子散斑干涉仪，包括测量装置及处理测量数据的计算机构成，其特点是，测量装置包括箱体、激光源、光路部件、成像部件、分光器件；激光源设置在箱体内前部；光路部件由若干个反射镜、一分光棱镜以及若干个扩束镜组件组成；成像部件由设置在箱体后部内的摄像头和设置在箱体后部外的成像镜前、后对应设置构成；摄像头的信号输出端通过数据总线与计算机的输入端连接；分光器件设置在成像镜前端部。更换或改变光路部件中个别元件的位置由摄像头获取被测件的图像，输入计算机中程序处理，可测得物体变形后的高精度离面位移、面内位移、离面位移梯度；在屏幕上显示干涉条纹，使用方便，功能强。
0135-0009、 对准键合精度检测系统
摘要、 本发明涉及一种对准键合精度检测系统，其特征在于它包括：一显微镜，一螺旋游标测量目镜，一CCD摄像机，一图像显示器，一红外光源，所述螺旋游标测量目镜连接在所述显微镜的垂直目镜的接口上，所述CCD摄像机连接在所述螺旋游标测量目镜上，所述图像显示器通过视频电缆与所述CCD摄像机连接，所述红外光源设置在所述显微镜的承片台下方。本发明利用在近红外区硅片具有较好的红外通过能力，CCD摄像机对红外光具有较好的成像质量，以及螺旋游标测量目镜对键合误差具有较精确的测量效果等特点，将其与显微镜结合成一体，为微电子机械系统(MEMS)加工技术提供了一种有效的测量手段。它可以广泛用于各种硅MEMS器件加工工艺过程的质量监控中，还可以作为可见光黑白图像的摄像测量显微镜使用。
0055-0010、 角度传感器
摘要、 一种角度传感器，包括固定于旋转轴上的磁铁和设置于中性探测位置C以使其朝向磁铁的霍耳装置由此根据霍耳装置的输出探测磁铁的旋转角度。磁性体附于磁铁的各个磁极以使在轴的圆周上最大磁通量部分远离中性探测位置C，所以使得磁通量分布偏向与霍耳装置相反的方向。
0082-0011、 电光角度测量装置
161-0012、 一种尺带收放灵活的卷尺
0193-0013、 表面特性测量机及其校正方法、校正程序、记录媒体
0150-0014、 位移检测方法、位移检测装置及其校正方法、及信息记录媒体母盘的记录装置
066-0015、 一种用于确定堆积物体如板状物体的边缘表面位置的方法和装置
045-0016、 测量探针，尤其用于一种测量薄层厚度的装置
048-0017、 测量特别是烟草加工业的棒状物的直径的装置和方法
041-0018、 基板位置偏差检测装置及基板位置偏差检测方法
064-0019、 确定扁平带状电缆的导线路径区域中的绝缘层厚度的方法和设备
0002-0020、 一种测量印刷电路板变形的方法
029-0021、 一种高清晰度投影仪装置
062-0022、 电感式传感器和配置此传感器的旋转发送器
0128-0023、 一种测量宽带光源双光束干涉零光程差位置的方法
024-0024、 使用电子尺配合电子量测仪测量的方法和装置
021-0025、 长度测量装置
091-0026、 可调精度的神经网络摄像机标定方法
047-0027、 机器人清洁装置位置标记检测法和用该方法的机器人清洁装置
060-0028、 一种绝对式矩阵编码器粗码译码校正的方法及其电路
0023-0029、 高精度单F－P板角位移测量仪
0129-0030、 工件表面粗糙度测量方法及装置
033-0031、 一种实现阿贝误差实时补偿的激光干涉测长系统
0162-0032、 钻孔测斜和轴向变形三维共线测量环
0153-0033、 光轴与安装基面平行度的检验方法
080-0034、 宽频白光干涉仪
0028-0035、 机器人直线轨迹特性测量方法及所用测量装置
115-0036、 光学校准机自动测量方法
078-0037、 探测系统
0151-0038、 容栅直移式数显千分尺
0203-0039、 三维坐标测量仪用量器
0034-0040、 影像测量系统和方法
177-0041、 摩托车方向轮的转向角度及扭矩的测量方法
175-0042、 非接触数字磁条、光栅条读出式位移传感器
0122-0043、 位置探测法和装置、曝光法和设备、控制程序以及器件制造法
123-0044、 用于获取机械零件由热引起的纵向膨胀量的装置
018-0045、 测量光学透明体的光学和物理厚度的方法
059-0046、 测定装置
108-0047、 卷尺
0008-0048、 薄膜厚度测量装置和反射系数测量与异物检测装置和方法
095-0049、 用于扫描刻度体的扫描单元
0004-0050、 一种结构光视觉传感器的标定方法
107-0051、 表面特性测量方法及坐标测量装置
180-0052、 对相位差不敏感的交点跟踪式莫尔（干涉）条纹信号计数细分方法及装置
013-0053、 一种立式大口径非球面镜检验装置
181-0054、 显微镜聚焦测高方法
170-0055、 媒体分配器的媒体检测方法
144-0056、 一种反射尺读头装置
003-0057、 基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统
0205-0058、 位置测量装置及运行位置测量装置的方法
090-0059、 具有高空间分辨力的整形环形光束式差动共焦传感器
0020-0060、 直角测量装置
071-0061、 用于检测可在坐标轴上移动的滑架的空间位置的装置
093-0062、 磁性编码器
0077-0063、 用于检测多坐标测量仪中探头元件位置的装置
124-0064、 借助坐标测量仪测量物体几何形状的方法
190-0065、 一种波高测量方法
194-0066、 检测厚度的传感器
0073-0067、 夹紧装置的倾斜调整方法
081-0068、 机器视觉检测系统与方法
116-0069、 二维编码式零位对准标记和编码方法
208-0070、 自载入空间参考点阵列
0136-0071、 一种空间三维自由曲线的测量方法
040-0072、 测量和水平校准装置及其使用方法
105-0073、 形状测定装置
025-0074、 超精密零件长度直接测量装置
053-0075、 可调整的探头
0134-0076、 非接触三维形状测定方法及装置
165-0077、 基于显微干涉技术的微机电系统的测试装置与方法
121-0078、 利用衍射特征的分析对焦点中心的判断
0037-0079、 高分辨率气量计式接近传感器
0015-0080、 测量参考面旁边通过的部件与参考面间距离的方法及系统
0017-0081、 用于无毁损地测量薄层厚度的装置
011-0082、 转动角度检测装置
038-0083、 光学定位系统和计算该光学定位系统移动值的方法
185-0084、 一种带内外隔圈双列圆锥轴承轴向游隙的测量装置和方法
159-0085、 微型倾角器
0187-0086、 光学三维测量用高精密组合光栅器件
0101-0087、 油气管道壁厚及缺陷检测系统
0202-0088、 测量系统中的方法和装置
149-0089、 测量及教学直尺
0209-0090、 双向引张线装置
014-0091、 显微镜机械筒长测量装置及测量方法
031-0092、 表面安装芯片封装
0200-0093、 卡尺
0099-0094、 导光板网点测量方法
210-0095、 电感调频式智能数码位移传感器
0130-0096、 高度测量机
0067-0097、 位移测定器
0050-0098、 电机的测量装置和测量方法
204-0099、 利用二维反射计测量多层薄膜的厚度轮廓和折射率分布的装置及其测量方法
087-0100、 小型在线径向剪切干涉仪及其测量非球面的方法
046-0101、 用于测量高线性磁通密度的角位置传感器
0211-0102、 冰层厚度传感器及其检测方法
068-0103、 检测陶瓷插芯开口夹角的方法及其装置
109-0104、 一种容栅位移传感器及其制作方法
036-0105、 测定装置
035-0106、 并行像散三维光聚焦探测方法及装置
184-0107、 动态角度测量装置
140-0108、 一种油气井井下套管径向检测方法
042-0109、 确定包括体积力作用的层状和渐变结构的大形变和应力
0132-0110、 电站锅炉回转式空气预热器间隙传感器
0173-0111、 大坝面板挠度或坝体内部变形监测方法及其装置
022-0112、 介电层厚度的测量方法及其装置
160-0113、 一种光纤准直器阵列对准调节装置
016-0114、 钢琴琴键排列平整性测量器
0171-0115、 半导体激光器安装对准和校准的方法
183-0116、 辊嘴间距测量方法及传感器
0092-0117、 磁悬浮微运动平台高度测量与校正方法及其装置
044-0118、 尺子
0166-0119、 多量子阱红外探测材料的结构层厚获取方法
143-0120、 静电电容检测装置
001-0121、 定位仪
0198-0122、 使用光纤接收器通道的绝对位置小型光栅编码器读头
0096-0123、 一种测量纱线截面形状的方法及装置
169-0124、 轧制过程预测钢板厚度的方法
075-0125、 工件的内径尺寸测量方法及装置
097-0126、 测量仪
0083-0127、 具有高空间分辨力的差动共焦扫描检测方法
120-0128、 变面积电容式数字并行输出型角位移传感器
0137-0129、 用于测量移动通信基站天线的资源信息的方法和装置
189-0130、 三坐标精密移动平台
0076-0131、 电子部件安装装置校正方法和使用该方法的装置
085-0132、 直线位移容栅式全防水电子数显卡尺
0117-0133、 识别移动机器人位置和方向的装置和方法
155-0134、 非接触测量系统和方法
138-0135、 一种自由曲面的测量方法
049-0136、 利用影像测定方位的方法
106-0137、 自校准位置确定系统和用户界面
0178-0138、 具有防水功能的大量程位移传感器
0057-0139、 玻璃基板与IC压合偏移量检测装置及方法
131-0140、 用于测量成形目标的成形的非接触电容式位移传感器
0110-0141、 机械形变量检测传感器
0065-0142、 一种电子显微镜测量物质长度的方法
191-0143、 多功能三维位移激光干涉测量系统
0010-0144、 导光板网点测量定位尺及其测量方法
019-0145、 利用散射测量的线路轮廓不对称测量法
009-0146、 用于焊接检测的特征量计算设备
0043-0147、 共焦点显微镜、光学式高度测定方法及自动聚焦方法
179-0148、 微透镜结构参数及面形畸变的快速检测方法
157-0149、 大跨径桥梁结构挠度监测方法
182-0150、 狭缝间距测量方法及传感器
0103-0151、 标记位置检测装置
152-0152、 X射线双频全息干涉仪
0147-0153、 用于测定导轨平直度的方法和装置
206-0154、 利用投射干涉条纹及评价绝对相位映射的三维成像
0012-0155、 位置检测方法及位置检测装置
032-0156、 用于汽车的位置检测可变电阻
0197-0157、 光移动量检测装置、电子设备以及传送处理系统
0100-0158、 无源磁性位置传感器，用于制造无源磁性位置传感器的方法
156-0159、 一种采用三圈码道输出十三位码的绝对式矩阵编码盘
0125-0160、 电梯的绳索规
0072-0161、 光学元件的制造方法
195-0162、 感应式旋转角度传感器和以此配备的自动同步发送机
0199-0163、 位移计和位移测定方法
086-0164、 图像识别用面光源装置
188-0165、 用频闪结构照明实现高速运动物体三维面形测量的方法
207-0166、 激光线发生装置
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168-0169、 便携式空间相对坐标及距离测量系统
0030-0170、 平面度检测方法及使用这种方法的检测装置
172-0171、 一种重力感应倾角传感器
0126-0172、 一种精密坐标测量方法及其装置
052-0173、 可调整的探头
0118-0174、 位移传递的大比例缩微及振弦差动变化机构
0113-0175、 样品的倾斜误差调整的辅助方法
026-0176、 用于测定辊与对象物之间距离的卡具和距离测定方法
154-0177、 用于浸入式光刻的液流接近探测器
0006-0178、 测量薄层厚度的设备
0163-0179、 钻孔测斜和轴向变形三维共线测量方法
174-0180、 坝体面板挠度或坝体内部水平及垂直变形的测量系统
0088-0181、 无扫描物镜的光学扫描外径测量系统及其测量方法
176-0182、 牵轴式位移传感器
0039-0183、 自校准位置测定系统
0201-0184、 用于提高光声膜厚度测量系统中的信噪比的方法和设备
0079-0185、 超精密回转基准空间误差自分离方法与装置
069-0186、 一种霍尔位置传感器
0141-0187、 人体毛孔孔径位移传感器及其信号处理电路
0054-0188、 可调整的探头
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089-0191、 用双色光栅模板产生π相移实现傅里叶变换轮廓术的方法
133-0192、 器件检验
0192-0193、 一种光学镀膜近红外膜厚监控仪
0058-0194、 外观检测装置以及图象获得方法
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146-0202、 带有平坦度测量辊的薄带材卷取机
0027-0203、 接触式物体位姿测量装置
061-0204、 摆线型机油泵内、外转子测量方法
084-0205、 差动离焦并行全场三维检测方法及装置
056-0206、 用于低相干性测量和高相干性测量的干涉仪设备及方法
164-0207、 一种真空激光坝变形测量方法
196-0208、 路径匹配路径型干涉仪装置
158-0209、 一种测量电磁轴承转子轴向位移的方法
145-0210、 测量仪
0074-0211、 缺陷检查装置、缺陷检查方法和孔图形的检查方法
212-0212、 一种可调光学移相器及移相过程
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