传感器、位移传感器、测定传感器、测量传感器及生产工艺技术
0175-0001、 三轴移动传感器
摘要、 本发明公开了一种用来检测半导体晶片结构的三维移动的微机电系统(MEMS)移动传感器(10)。MEMS器件(10)具有上(30)、中(40)、下(20)层，和一通过屈曲部分(56)附连在该中层(40)上的动子(50)，屈曲部分允许该动子(50)相对于这些层(20，30，40)作三维移动。该动子(50)具有动子电极(70，72)，这些动子电极与安置在邻近层(20，30)上的相反电极(80，82)一起产生一电容。当该动子(50)移动时该电容就发生变化。一电容检测器(90)接收来自该电极(70，72，80，82)的信号，并根据该电容的变化来检测该动子(50)的移动。该MEMS器件(10)处理该检测到的电容以便测定该动子(50)的移动特性。
0018-0002、 容栅式数显杠杆表
摘要、 一种容栅式数显杠杆表，由装在基座（407）上的绕AA轴转动的杠杆系统（401～406）和绕BB轴转动的容栅角位移传感器（410～413、PCB1、PCB2）以及弹簧回零系统（414～416）与测量显示模块（416、LCD、PCB1）构成，轴AA与轴BB相平行，满足2πRLo／8NLi＝0．635mm（对0．01mm 分辩率）或0．0635mm（对0．001mm分辩率），8N为容栅传感器发射电极栅的总数。本发明的数显杠杆表，传感器无接触磨擦从而稳定可靠且寿命长；液晶显示模块可360°旋转调节零位，方便从各方位观察读数。
0178-0003、 螺纹游标卡尺
涉及一种测量螺纹的螺纹游标卡尺，其特征在于：主、副卡脚1、2上的燕尾体3与主、副卡尺的垂直线呈一夹角；燕尾体3尾端端面有斜“V”形槽；螺纹测头7芯部的一端斜燕尾槽与卡脚斜燕尾体3配合，另一端有≤1，2凹圆锥面；螺撇馔沸静坑凶短逑?螺纹测头7的锁紧、松开靠特形扳手11旋转锥体销5并上、下移动来完成。该螺纹游标卡尺解决了主、副尺不易对零，锁紧不牢固，测量精度低，装、卸不方便的难题；本发明主要适用于机械加工中螺纹零件的测量。
0121-0004、 一种背景光照射线阵CCD辅助测量的方法
摘要、 本发明公开了一种背景光照射线阵CCD辅助测量的方法其特征是在CCD探头中设置了均匀背景光光源，通过该光源照射局部或全部CCD，移动信号电平，使任一个被测体的光学图象中的相关信号电平趋于相等或相异；微调背景光光源的照度，使得以比较放大器，门电路和触发器构成的信号处理电路获得简化，再用微处理器做采样和数据处理，可以抑制噪声，使系统工作更趋稳定，且能在测量时微调测量结果。
0117-0005、 使用脉动宽带光源原位监测等离子体刻蚀和淀积工艺的方法和装置
摘要、 一种用于使用一个提供高瞬时功率脉冲和具有宽光谱宽度的脉冲闪光灯、原位监测薄膜厚度以及刻蚀或淀积速率的干涉测量方法和装置。闪光灯与用于检测从一晶片反射的光的光谱摄制仪之间的光路实质上对于光谱的紫外线区是可透射的。利用软件算法计算膜厚度以及刻蚀和淀积速率。
0209-0006、 基于正交双偏振光的滚转角光电检测方法及装置
摘要、 基于正交双偏振光的滚转角光电检测方法及装置属于光电检测技术领域。本发明利用相位差180°的两列方波，分别调制光路中的两个半导体激光器或者分别调制光路中两个偏振方向正交的液晶光阀，产生两束分时交替的正交偏振光，使发射端输出交替工作的正交双偏振平行光；经过检偏器后产生光强差值，通过检测该差值得到滚转角的值。本发明与现有技术相比，光路结构简单无较多复杂反馈电路，在保证测量精度的前提下有效降低了生产成本；同时实现了x-y准直度的测量控制，节省了测量的时间，实现了并行实时测量，为进一步提高测量精度提供了条件。可广泛用于大型工件安装时的滚转角和准直度测量以及运动物的直线度和滚转角的自动跟踪系统。
0203-0007、 移动装置的位置误差评价方法和根据其评价结果改善移动精度的方法
摘要、 在相互垂直的二轴或三轴方向上移动可移动物体的移动装置中，由连续二点法利用关于与上述二或三轴中的确定二轴方向相垂直的一个方向的移动物体的位置误差来确定表示可移动物体在沿预定二轴线方向中的单轴方向的位置误差变化状态的直线误差曲线；对该二轴方向中的另一单轴方向重复直线误差曲线确定。
0105-0008、 尺寸测量柱和输入指令来转换测量柱的测量模式的方法
摘要、 一种使转换测量模式的指令输入单垂直轴尺寸测量柱的方法。转换模式的指令可通过在大于预定值的时间间隔将探头压在待测量的工件上来输入。测量和显示系统然后进入待测量工件的返回点的搜索模式。所述单轴测量柱可用于内径和外径的测量。所述方法可用最少的管理操作完成孔的最小和最大点的测量。
0032-0009、 全光纤大范围位移测量仪
摘要、 一种全光纤大范围位移测量仪，包括两个被调制的原光源。两原光源发射的调制光束经过全光纤连接的三个环形器和两个光纤耦合器分别到达参考反射元件和被测物体。由参考反射元件和被测物体反射回来的光束在光纤耦合器中产生干涉。光电转换元件将接收到的干涉信号转换为电信号，一路经过数模转换器送到计算机。另一路经过反馈控制电路分别送到第一驱动电源和第二驱动电源。本发明与在先技术相比，本发明采用了光热光频调制，采用了全光纤代替在先技术中的透镜、分束器等光学元件，所以，本发明体积小，重量轻，结构紧凑，抗干扰能力强，测量精度高，测量范围由在先技术的数百纳米扩大到厘米量级。
0100-0010、 用于光学编码器的发射光源装置
摘要、 一安装在所述框架上的光发射晶片，该光发射晶片具有一与刻度盘的光栅表面基本垂直并处于光栅的方向的光发射表面。一密封光发射元件晶片和框架的模制的透明树脂，第一光学元件反射来自于光发射元件晶片的光，该反射的光基本平行于光栅表面，并处于与光栅的方向垂直的方向，第二光学元件向光栅反射来自于第一光学元件的平行光，由于反射的平行光向光栅汇集，光在光栅的方向上照射在光栅的特定区域上。
0087-0011、 短脉冲激光超声精确测厚方法及装置
104-0012、 以高速传送、检查、测量对象及表面细节的方法和装置
211-0013、 变形检测装置
106-0014、 位置测定装置和采用该装置的工作设备
0151-0015、 一种包括一个可动测量探针的测量器件
0127-0016、 用于评价相互联接部件的轴承或者活节中间隙的方法和装置
199-0017、 组合立体视像、彩色3D数字化和运动捕捉的系统
0187-0018、 自动在线长度测量系统
0067-0019、 用于确定表面纹理的方法
157-0020、 用来测知行进中的长丝变粗的方法和装置
046-0021、 姿态检测装置
015-0022、 图像处理装置、其辅助装置提供方法及接受订货处理方法
210-0023、 变排量斜盘式压缩机活塞行程测量方法及其装置
047-0024、 测量机器上物体的光测量装置
115-0025、 光学式计量装置
173-0026、 滚动电容性位移测量传感器及其在电子数显量具上的应用
0051-0027、 一种三自由度空间运动机构
0002-0028、 一种球罐容积的测定方法
040-0029、 激光三角法测头
0136-0030、 双波长纳米精度实时干涉测量仪
0114-0031、 位移传感器
0024-0032、 测定由光纤透射的光的波长的方法和系统
0031-0033、 一种大量程位移传感器
0163-0034、 基于光纤陀螺技术检测水下工程结构形变的方法及装置
035-0035、 一种环光棚法空间直线度测量装置
058-0036、 评估地震破坏的有效应变计
0089-0037、 三维光扫描
0049-0038、 锥度螺纹的检测方法和相应的检测装置
174-0039、 预应变光纤光栅及其传感器
0001-0040、 工件形状测定传感器及工件形状测定装置
005-0041、 用二元编码模板产生正弦结构光场的方法
205-0042、 用于差动变压器故障检测及其信号处理的方法和装置
019-0043、 激光自准直平行光管
0111-0044、 大尺寸零件无导轨测量装置及其测试方法
140-0045、 位置敏感探测器的数字式信号处理器
0166-0046、 位移测量传感器
0080-0047、 多功能型位移传感器
0133-0048、 用于测量位移的装置上的标尺
0130-0049、 一种二维位移工作台
0193-0050、 二维微振动光纤检测系统及测试方法
207-0051、 一种超低温非接触式电涡流位移传感器
0011-0052、 表面图象读出装置和三维结构的表面检查
0184-0053、 可同时投射多相移图案而对物体进行三维检测的系统
0076-0054、 壁厚的激光－超声测量
0139-0055、 激光光斑定位仪
0107-0056、 测量物体凸纹的方法和系统
0045-0057、 检测物体的方法和装置
180-0058、 磁感应角位移传感器
0189-0059、 电子元件的保持结构及其保持方法
064-0060、 大量程偏振光直线位移传感器
0176-0061、 位移检测装置和位移检测器
0195-0062、 不均匀挠曲和，或凹陷检测器以及结构的检测方法
043-0063、 用于测量较小的力和位移的测量装置
029-0064、 镜片框架形状测定装置
164-0065、 确定两个或更多电子装置间的距离的方法
014-0066、 用单片一维图象探测器件测量二维角度的方法及测量仪器
0116-0067、 曲面测量仪
0118-0068、 用于确定印刷电路板钻床的误差的方法
020-0069、 光－电子装置
056-0070、 霍尔随动位移传感器
0098-0071、 电路板检查装置和电路板检查方法
007-0072、 使用带通滤波检测在诸如轮胎侧壁之类的凸面中的奇点
0085-0073、 一种变角式双反射镜动态液膜厚度测定仪
0003-0074、 一种经改进的250℃温度下测厚用的超声波传感器
0097-0075、 电磁感应式绝对位置传感器
0168-0076、 用光学全息干涉技术对物体中残余应力进行实时无损测定的方法与设备
0201-0077、 装配站中的传感器的校正和设置方法及装配站
0096-0078、 用于如水果产品的自动分类的分析方法和装置
145-0079、 固体孔隙度测定仪
0123-0080、 被测物的厚度测定方法及其装置
192-0081、 用于测量纵向尺寸的测量柱
0128-0082、 用于坐标定位机器的定位装置
012-0083、 垂直定位的液晶板单元间隙的测量方法和器件
0150-0084、 一种新型的库仑测厚方法及装置
194-0085、 镜片框架形状测定装置
013-0086、 塑料膜的热封位置检测装置
202-0087、 光学传感器
0048-0088、 液晶盒厚度检测方法、液晶盒厚度控制系统及液晶装置制造方法
108-0089、 任意形状板件面积测量仪
0162-0090、 放大摄像设备和计量检测设备以及计量检测程序
0197-0091、 带公差设置功能的数显千分尺集成电路及其实现方法
204-0092、 耕深监测器
0038-0093、 为比较物体尺寸使这些物体位移的装置及用该装置比较尺寸的方法
129-0094、 减小图象相关系统中累加系统误差的系统与方法
101-0095、 型钢在线自动测长方法及其测长仪
0023-0096、 一种监测用喷射法制作的柱状体的直径的方法
030-0097、 一种斑点图像相关的光学位置传感器
0153-0098、 一种非球面镜顶点曲率半径测量方法及装置
177-0099、 弦控式数字编译码传感器及其检测方法
057-0100、 模板保持部件
0079-0101、 检查用模座及其制造方法
050-0102、 带材平直度测量装置
160-0103、 内径测量方法及其装置
144-0104、 工件的中心位置检测方法及装置
146-0105、 用于快速的精确的耦合波分析的层内计算的高速缓存
0138-0106、 双频共焦台阶高度显微测量装置
158-0107、 内侧测微计
0093-0108、 叶轮机械叶片故障叶间间距监测诊断法
125-0109、 微小位移自混合干涉测量装置及其信号控制器和测量方法
154-0110、 狭小空间内带鳍片的热交换管道直径测量装置
022-0111、 位移测量装置
119-0112、 测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪
0112-0113、 一种电荷耦合微位移测量方法
183-0114、 物体空间位姿检测装置
141-0115、 在高温下使用的自动补偿陶瓷应变计量器
0152-0116、 激光位移传感器表面测量中反射光线遮蔽的消除方法
110-0117、 物体尺寸的感应测量方法
017-0118、 静电电容式变位检测装置
124-0119、 量角器及其应用
0053-0120、 用于测量元件安装装置的偏移的板及其测量方法
041-0121、 改善激光干涉仪的测量的方法
170-0122、 滚动电容数显卡尺
0120-0123、 频率分裂*－氖激光回馈自混合非接触测微仪
0004-0124、 以时间量测决定圆形物件尺寸的方法
169-0125、 采用光学全息摄影干涉测量术的物体无损检查方法及装置
131-0126、 一种浮法抛光液膜厚度测量装置
188-0127、 触发探针及用于装配触发探针的方法
028-0128、 感应电流位置传感器相关申请的相互参考
0156-0129、 用光传感器阵列检测角度的方法及其装置
155-0130、 光学波导光栅的生产和，或光学波导的特征
0090-0131、 在溶液中测量接触透镜的背面曲率半径和中心材料厚度
0091-0132、 未烧结陶瓷片的膜厚测定装置及膜厚测定方法
016-0133、 立体空间光学式集成电路针脚检测方法及其检测仪器
0054-0134、 用于连续测量施加到带材上的应力分布的测量辊
0082-0135、 一种利用单光束激光进行准值，轴对中测量的技术
208-0136、 调整红外激光器光栅谐振腔的内调焦望远镜
0072-0137、 一种光学测量中使用的二维同心转镜装置
200-0138、 特殊规格套管螺纹连接检验用量规
0078-0139、 计测仪检查用计测校准器的设定装置
159-0140、 一种房间面积自动测量方法及装置
008-0141、 用于无损测量薄层厚度的方法和仪器
0161-0142、 带输出的测定器
0143-0143、 用于检测不平度缺陷的方法
109-0144、 铁路车辆轴承内径自动检测分选装置
198-0145、 非接触式电容复合电极型位移传感器及测量仪
0185-0146、 测量尺架
0068-0147、 构件载荷的测量系统、测量装置和测量传感器
0010-0148、 找齐的设备和方法
059-0149、 足部测量系统和方法
070-0150、 使用波数域反射技术及背景振幅减少和补偿的多层共焦干涉显微术
062-0151、 壁面观察装置
088-0152、 测量绝对旋转角度的装置及其方法
171-0153、 游标式公差与配合表
0172-0154、 非对称跨球测头及斜齿凹形圆锥渐开线齿轮的测量方法
060-0155、 面积型电容测微仪精度的自校准方法及测量装置
063-0156、 模具快速图形测量法
084-0157、 碳化深度测量器
0190-0158、 一种测量纵向尺寸的测量柱
0099-0159、 游标卡尺及游标卡尺用的把手
0034-0160、 一种无衍射光空间直线度测量装置
102-0161、 基于薄膜衰减光而分析相关试验的仪器
0042-0162、 光纤传感器
0069-0163、 激光线扫描三维测量双光刀虚拟网格映射标定方法及装置
135-0164、 全光纤纳米精度微位移与微振动干涉测量仪
0179-0165、 角辨向器
0122-0166、 一种商品房屋面积的标准化光电测量，计算装置
052-0167、 手持或便携设备的超声手写输入检测装置
036-0168、 瞬态应变波形存储器
0037-0169、 用于测量三维数据的装置和方法
033-0170、 滚转角测量方法及其滚转角测量仪
0061-0171、 一种用于空间全位置和姿态的测量方法及其装置
196-0172、 机动车的车轮和轴对准的测量
0149-0173、 用于确定展延导轨状态的方法和装置
191-0174、 一种测量纵向尺寸的测量柱
0094-0175、 测定坐标测量仪中测量误差的方法和坐标测量仪计量器
0021-0176、 检测三维表面空间结构的过程
0147-0177、 透明液体检查装置和透明液体检查方法以及透明液体涂敷方法
025-0178、 用坐标测量仪测定物体几何形状的方法和装置
044-0179、 物流信息读取设备
0065-0180、 三维成像系统
0009-0181、 具有晶须探针的悬臂和制造该悬臂的方法
095-0182、 铁磁材料复杂形状差异的自动鉴别方法及装置
027-0183、 测量仪
0137-0184、 一种产品表面多参数非接触离焦检测的光纤传感器
0081-0185、 位移传感器
0074-0186、 利用计算机视觉技术的在线实时准直测量装置及校准方法
026-0187、 采用细长导电体之间的隧道效应电流的测量方法
103-0188、 进行范围绝对测量用的方法和装置
075-0189、 无接触式三维测量物体的装置和确定测量点坐标的坐标系统的方法
055-0190、 测量硅晶片的波度的方法与系统
0086-0191、 偏角测量仪
0134-0192、 道路粗糙度检测方法
073-0193、 直角定位的手写输入超声波检测方法及装置
077-0194、 确定机动车的车轮和，或轴的定位的装置
206-0195、 用于确定电机转子位置的方法以及位置传感器
0165-0196、 一种装卡便携式装置的夹具
0071-0197、 以C－V法测量等效栅极沟道长度的方法
148-0198、 对准光学测量系统的光学部件
0182-0199、 提高激光外差差分干涉仪定位精度的装置及方法
066-0200、 光学波片的检测仪
0181-0201、 横向塞曼双频激光直线度，同轴度测量装置
039-0202、 比较测定器
0186-0203、 非球面偏心测定方法及偏心测定装置
167-0204、 油管长度测量装置
113-0205、 测量车轮滚动半径的方法和设备
0083-0206、 用于测量基底厚度的在线测量系统及其方法
092-0207、 光学法多维参数测量中的虚拟定位方法
006-0208、 距离测量装置
132-0209、 圆筒体的变形量测定装置
126-0210、 多点测厚计
0142-0211、 检查对象物提取方法
212-0212、 对测量装置的低电压高精度差动信号的处理系统及方法BR
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摘要、 本发明公开了一种用来检测半导体晶片结构的三维移动的微机电系统(MEMS)移动传感器(10)。MEMS器件(10)具有上(30)、中(40)、下(20)层，和一通过屈曲部分(56)附连在该中层(40)上的动子(50)，屈曲部分允许该动子(50)相对于这些层(20，30，40)作三维移动。该动子(50)具有动子电极(70，72)，这些动子电极与安置在邻近层(20，30)上的相反电极(80，82)一起产生一电容。当该动子(50)移动时该电容就发生变化。一电容检测器(90)接收来自该电极(70，72，80，82)的信号，并根据该电容的变化来检测该动子(50)的移动。该MEMS器件(10)处理该检测到的电容以便测定该动子(50)的移动特性。
0018-0002、 容栅式数显杠杆表
摘要、 一种容栅式数显杠杆表，由装在基座（407）上的绕AA轴转动的杠杆系统（401～406）和绕BB轴转动的容栅角位移传感器（410～413、PCB1、PCB2）以及弹簧回零系统（414～416）与测量显示模块（416、LCD、PCB1）构成，轴AA与轴BB相平行，满足2πRLo／8NLi＝0．635mm（对0．01mm 分辩率）或0．0635mm（对0．001mm分辩率），8N为容栅传感器发射电极栅的总数。本发明的数显杠杆表，传感器无接触磨擦从而稳定可靠且寿命长；液晶显示模块可360°旋转调节零位，方便从各方位观察读数。
0178-0003、 螺纹游标卡尺
涉及一种测量螺纹的螺纹游标卡尺，其特征在于：主、副卡脚1、2上的燕尾体3与主、副卡尺的垂直线呈一夹角；燕尾体3尾端端面有斜“V”形槽；螺纹测头7芯部的一端斜燕尾槽与卡脚斜燕尾体3配合，另一端有≤1，2凹圆锥面；螺撇馔沸静坑凶短逑?螺纹测头7的锁紧、松开靠特形扳手11旋转锥体销5并上、下移动来完成。该螺纹游标卡尺解决了主、副尺不易对零，锁紧不牢固，测量精度低，装、卸不方便的难题；本发明主要适用于机械加工中螺纹零件的测量。
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摘要、 基于正交双偏振光的滚转角光电检测方法及装置属于光电检测技术领域。本发明利用相位差180°的两列方波，分别调制光路中的两个半导体激光器或者分别调制光路中两个偏振方向正交的液晶光阀，产生两束分时交替的正交偏振光，使发射端输出交替工作的正交双偏振平行光；经过检偏器后产生光强差值，通过检测该差值得到滚转角的值。本发明与现有技术相比，光路结构简单无较多复杂反馈电路，在保证测量精度的前提下有效降低了生产成本；同时实现了x-y准直度的测量控制，节省了测量的时间，实现了并行实时测量，为进一步提高测量精度提供了条件。可广泛用于大型工件安装时的滚转角和准直度测量以及运动物的直线度和滚转角的自动跟踪系统。
0203-0007、 移动装置的位置误差评价方法和根据其评价结果改善移动精度的方法
摘要、 在相互垂直的二轴或三轴方向上移动可移动物体的移动装置中，由连续二点法利用关于与上述二或三轴中的确定二轴方向相垂直的一个方向的移动物体的位置误差来确定表示可移动物体在沿预定二轴线方向中的单轴方向的位置误差变化状态的直线误差曲线；对该二轴方向中的另一单轴方向重复直线误差曲线确定。
0105-0008、 尺寸测量柱和输入指令来转换测量柱的测量模式的方法
摘要、 一种使转换测量模式的指令输入单垂直轴尺寸测量柱的方法。转换模式的指令可通过在大于预定值的时间间隔将探头压在待测量的工件上来输入。测量和显示系统然后进入待测量工件的返回点的搜索模式。所述单轴测量柱可用于内径和外径的测量。所述方法可用最少的管理操作完成孔的最小和最大点的测量。
0032-0009、 全光纤大范围位移测量仪
摘要、 一种全光纤大范围位移测量仪，包括两个被调制的原光源。两原光源发射的调制光束经过全光纤连接的三个环形器和两个光纤耦合器分别到达参考反射元件和被测物体。由参考反射元件和被测物体反射回来的光束在光纤耦合器中产生干涉。光电转换元件将接收到的干涉信号转换为电信号，一路经过数模转换器送到计算机。另一路经过反馈控制电路分别送到第一驱动电源和第二驱动电源。本发明与在先技术相比，本发明采用了光热光频调制，采用了全光纤代替在先技术中的透镜、分束器等光学元件，所以，本发明体积小，重量轻，结构紧凑，抗干扰能力强，测量精度高，测量范围由在先技术的数百纳米扩大到厘米量级。
0100-0010、 用于光学编码器的发射光源装置
摘要、 一安装在所述框架上的光发射晶片，该光发射晶片具有一与刻度盘的光栅表面基本垂直并处于光栅的方向的光发射表面。一密封光发射元件晶片和框架的模制的透明树脂，第一光学元件反射来自于光发射元件晶片的光，该反射的光基本平行于光栅表面，并处于与光栅的方向垂直的方向，第二光学元件向光栅反射来自于第一光学元件的平行光，由于反射的平行光向光栅汇集，光在光栅的方向上照射在光栅的特定区域上。
0087-0011、 短脉冲激光超声精确测厚方法及装置
104-0012、 以高速传送、检查、测量对象及表面细节的方法和装置
211-0013、 变形检测装置
106-0014、 位置测定装置和采用该装置的工作设备
0151-0015、 一种包括一个可动测量探针的测量器件
0127-0016、 用于评价相互联接部件的轴承或者活节中间隙的方法和装置
199-0017、 组合立体视像、彩色3D数字化和运动捕捉的系统
0187-0018、 自动在线长度测量系统
0067-0019、 用于确定表面纹理的方法
157-0020、 用来测知行进中的长丝变粗的方法和装置
046-0021、 姿态检测装置
015-0022、 图像处理装置、其辅助装置提供方法及接受订货处理方法
210-0023、 变排量斜盘式压缩机活塞行程测量方法及其装置
047-0024、 测量机器上物体的光测量装置
115-0025、 光学式计量装置
173-0026、 滚动电容性位移测量传感器及其在电子数显量具上的应用
0051-0027、 一种三自由度空间运动机构
0002-0028、 一种球罐容积的测定方法
040-0029、 激光三角法测头
0136-0030、 双波长纳米精度实时干涉测量仪
0114-0031、 位移传感器
0024-0032、 测定由光纤透射的光的波长的方法和系统
0031-0033、 一种大量程位移传感器
0163-0034、 基于光纤陀螺技术检测水下工程结构形变的方法及装置
035-0035、 一种环光棚法空间直线度测量装置
058-0036、 评估地震破坏的有效应变计
0089-0037、 三维光扫描
0049-0038、 锥度螺纹的检测方法和相应的检测装置
174-0039、 预应变光纤光栅及其传感器
0001-0040、 工件形状测定传感器及工件形状测定装置
005-0041、 用二元编码模板产生正弦结构光场的方法
205-0042、 用于差动变压器故障检测及其信号处理的方法和装置
019-0043、 激光自准直平行光管
0111-0044、 大尺寸零件无导轨测量装置及其测试方法
140-0045、 位置敏感探测器的数字式信号处理器
0166-0046、 位移测量传感器
0080-0047、 多功能型位移传感器
0133-0048、 用于测量位移的装置上的标尺
0130-0049、 一种二维位移工作台
0193-0050、 二维微振动光纤检测系统及测试方法
207-0051、 一种超低温非接触式电涡流位移传感器
0011-0052、 表面图象读出装置和三维结构的表面检查
0184-0053、 可同时投射多相移图案而对物体进行三维检测的系统
0076-0054、 壁厚的激光－超声测量
0139-0055、 激光光斑定位仪
0107-0056、 测量物体凸纹的方法和系统
0045-0057、 检测物体的方法和装置
180-0058、 磁感应角位移传感器
0189-0059、 电子元件的保持结构及其保持方法
064-0060、 大量程偏振光直线位移传感器
0176-0061、 位移检测装置和位移检测器
0195-0062、 不均匀挠曲和，或凹陷检测器以及结构的检测方法
043-0063、 用于测量较小的力和位移的测量装置
029-0064、 镜片框架形状测定装置
164-0065、 确定两个或更多电子装置间的距离的方法
014-0066、 用单片一维图象探测器件测量二维角度的方法及测量仪器
0116-0067、 曲面测量仪
0118-0068、 用于确定印刷电路板钻床的误差的方法
020-0069、 光－电子装置
056-0070、 霍尔随动位移传感器
0098-0071、 电路板检查装置和电路板检查方法
007-0072、 使用带通滤波检测在诸如轮胎侧壁之类的凸面中的奇点
0085-0073、 一种变角式双反射镜动态液膜厚度测定仪
0003-0074、 一种经改进的250℃温度下测厚用的超声波传感器
0097-0075、 电磁感应式绝对位置传感器
0168-0076、 用光学全息干涉技术对物体中残余应力进行实时无损测定的方法与设备
0201-0077、 装配站中的传感器的校正和设置方法及装配站
0096-0078、 用于如水果产品的自动分类的分析方法和装置
145-0079、 固体孔隙度测定仪
0123-0080、 被测物的厚度测定方法及其装置
192-0081、 用于测量纵向尺寸的测量柱
0128-0082、 用于坐标定位机器的定位装置
012-0083、 垂直定位的液晶板单元间隙的测量方法和器件
0150-0084、 一种新型的库仑测厚方法及装置
194-0085、 镜片框架形状测定装置
013-0086、 塑料膜的热封位置检测装置
202-0087、 光学传感器
0048-0088、 液晶盒厚度检测方法、液晶盒厚度控制系统及液晶装置制造方法
108-0089、 任意形状板件面积测量仪
0162-0090、 放大摄像设备和计量检测设备以及计量检测程序
0197-0091、 带公差设置功能的数显千分尺集成电路及其实现方法
204-0092、 耕深监测器
0038-0093、 为比较物体尺寸使这些物体位移的装置及用该装置比较尺寸的方法
129-0094、 减小图象相关系统中累加系统误差的系统与方法
101-0095、 型钢在线自动测长方法及其测长仪
0023-0096、 一种监测用喷射法制作的柱状体的直径的方法
030-0097、 一种斑点图像相关的光学位置传感器
0153-0098、 一种非球面镜顶点曲率半径测量方法及装置
177-0099、 弦控式数字编译码传感器及其检测方法
057-0100、 模板保持部件
0079-0101、 检查用模座及其制造方法
050-0102、 带材平直度测量装置
160-0103、 内径测量方法及其装置
144-0104、 工件的中心位置检测方法及装置
146-0105、 用于快速的精确的耦合波分析的层内计算的高速缓存
0138-0106、 双频共焦台阶高度显微测量装置
158-0107、 内侧测微计
0093-0108、 叶轮机械叶片故障叶间间距监测诊断法
125-0109、 微小位移自混合干涉测量装置及其信号控制器和测量方法
154-0110、 狭小空间内带鳍片的热交换管道直径测量装置
022-0111、 位移测量装置
119-0112、 测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪
0112-0113、 一种电荷耦合微位移测量方法
183-0114、 物体空间位姿检测装置
141-0115、 在高温下使用的自动补偿陶瓷应变计量器
0152-0116、 激光位移传感器表面测量中反射光线遮蔽的消除方法
110-0117、 物体尺寸的感应测量方法
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124-0119、 量角器及其应用
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170-0122、 滚动电容数显卡尺
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0072-0137、 一种光学测量中使用的二维同心转镜装置
200-0138、 特殊规格套管螺纹连接检验用量规
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159-0140、 一种房间面积自动测量方法及装置
008-0141、 用于无损测量薄层厚度的方法和仪器
0161-0142、 带输出的测定器
0143-0143、 用于检测不平度缺陷的方法
109-0144、 铁路车辆轴承内径自动检测分选装置
198-0145、 非接触式电容复合电极型位移传感器及测量仪
0185-0146、 测量尺架
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0010-0148、 找齐的设备和方法
059-0149、 足部测量系统和方法
070-0150、 使用波数域反射技术及背景振幅减少和补偿的多层共焦干涉显微术
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171-0153、 游标式公差与配合表
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0034-0160、 一种无衍射光空间直线度测量装置
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0069-0163、 激光线扫描三维测量双光刀虚拟网格映射标定方法及装置
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191-0174、 一种测量纵向尺寸的测量柱
0094-0175、 测定坐标测量仪中测量误差的方法和坐标测量仪计量器
0021-0176、 检测三维表面空间结构的过程
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095-0182、 铁磁材料复杂形状差异的自动鉴别方法及装置
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