01、一种三氯氢硅提纯方法
02、三氯氢硅加压提纯方法及其装置
03、大型三氯氢硅合成装置及合成方法
04、一种灌装电子级三氯氢硅钢瓶清洗方法
05、用三氯氢硅和四氯化硅混合源生产多晶硅的方法
06、四氯化硅氢化生产三氯氢硅的方法
07、三氯氢硅(SiHCl3、的制备
08、制备三氯硅烷的方法
09、三氯硅烷的生产方法
10、r-氯丙基三氯硅烷的制备工艺
11、3-氯丙基三氯硅烷的制备方法
12、乙烯基三氯硅烷的制备方法及其装置
13、通过四氯化硅的催化加氢脱卤制备三氯甲硅烷的工艺
14、通过四氯化硅的催化加氢脱卤制备三氯甲硅烷的方法
15、生产三氯硅烷的方法和用于生产三氯硅烷的硅
16、提纯三氯硅烷和四氯化硅的方法和设备
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