耦合等离子体工艺生产工艺及应用
(CD34511-0042-0001)利用电磁场约束电感耦合等离子体溅射沉积法制备ZnO基稀磁半导体薄膜
(CD34511-0014-0002)电感耦合等离子体质谱进样系统装置
(CD34511-0008-0003)电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置
(CD34511-0009-0004)电感耦合线圈及应用该线圈的电感耦合等离子体装置
(CD34511-0007-0005)自动波长校正的顺序电感耦合等离子体光谱仪及应用方法
(CD34511-0013-0006)电感耦合等离子体质谱接口装置
(CD34511-0057-0007)电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置
(CD34511-0048-0008)结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器
(CD34511-0056-0009)电感耦合等离子体全谱仪
(CD34511-0030-0010)具有均匀轴向分布的等离子体的电容耦合等离子体反应器
(CD34511-0001-0011)感应耦合等离子体发射装置用的天线电极
(CD34511-0070-0012)电感耦合等离子体装置
(CD34511-0002-0013)在感应耦合等离子体腐蚀系统中有效地控制高频峰-峰电压的装置和方法
(CD34511-0006-0014)用于电感性耦合等离子体源的低电感大面积线圈
(CD34511-0067-0015)射频电感耦合等离子体发生天线
(CD34511-0054-0016)电磁场约束电感耦合等离子体增强气相沉积薄膜系统
(CD34511-0026-0017)电感耦合等离子体中用于改善等离子体分布及性能的设备和方法
(CD34511-0058-0018)电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置
(CD34511-0032-0019)电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置
(CD34511-0017-0020)基于电感耦合等离子体刻蚀多晶硅及制备超细线条的方法
(CD34511-0012-0021)电感耦合等离子体激发光源
(CD34511-0060-0022)进气喷嘴及其电感耦合等离子体装置
(CD34511-0020-0023)用于溅射和再溅射的自离子化及电感耦合等离子体
(CD34511-0011-0024)感应耦合等离子体深层刻蚀机
(CD34511-0003-0025)电感耦合等离子体处理装置
(CD34511-0069-0026)电容耦合等离子体装置及在硅衬底上生长碳化硅薄膜的方法
(CD34511-0023-0027)感应耦合等离子体处理装置
(CD34511-0000-0028)电感耦合线圈及应用该线圈的电感耦合等离子体装置
(CD34511-0043-0029)具有均匀温度分布晶片支撑的电容耦合等离子体反应装置
(CD34511-0038-0030)射频感性耦合等离子体源的平面法拉第屏蔽系统
(CD34511-0027-0031)感应耦合等离子体发生器天线结构
(CD34511-0059-0032)射频发射装置及其感应耦合等离子体发生设备
(CD34511-0024-0033)包含有曲折线圈天线的感应耦合等离子体发生设备
(CD34511-0052-0034)具有均匀磁场分布的自适应耦合等离子体源和具有该等离子体源的等离子体室
(CD34511-0005-0035)用于原子吸收和发射光谱法的大气压容性耦合等离子体雾化器
(CD34511-0040-0036)感应耦合等离子体对准装置及方法
(CD34511-0004-0037)感应耦合等离子体质量分析仪
(CD34511-0028-0038)电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置
(CD34511-0029-0039)提高感应耦合等离子体均匀性的侧壁磁体及与其使用的护罩
(CD34511-0065-0040)大面积并联高密度感应耦合等离子体源
(CD34511-0064-0041)电感耦合等离子体装置
(CD34511-0036-0042)感应耦合等离子体处理装置
(CD34511-0049-0043)电感耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法
(CD34511-0010-0044)一种电感耦合等离子体检测微流控芯片
(CD34511-0062-0045)电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置
(CD34511-0019-0046)产生电感耦合等离子体的设备及其方法
(CD34511-0037-0047)在感应耦合等离子体刻蚀中保护刻蚀结构的方法
(CD34511-0015-0048)无辅助流高灵敏毛细管电泳和电感耦合等离子体质谱仪联用接口
(CD34511-0051-0049)电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置
(CD34511-0045-0050)无辅助流高灵敏毛细管电泳和电感耦合等离子体质谱仪联用接口
(CD34511-0018-0051)一种利用低分辨率电感耦合等离子体质谱仪检测磷的方法
(CD34511-0063-0052)电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置
(CD34511-0041-0053)电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置
(CD34511-0047-0054)一种无电极射频感应耦合等离子体放电式原子源
(CD34511-0022-0055)一种电感耦合等离子体检测微流控芯片
(CD34511-0031-0056)增强和定位电容耦合等离子体的方法、设备和磁性部件
(CD34511-0033-0057)一种感应耦合等离子体线圈的包装装置
(CD34511-0050-0058)感应耦合等离子体反应器
(CD34511-0061-0059)电感耦合等离子体装置
(CD34511-0055-0060)气相色谱仪与电感耦合等离子体质谱仪/光谱仪联用接口
(CD34511-0053-0061)消除感应耦合等离子体反应器中M形状蚀刻率分布的方法
(CD34511-0025-0062)带有功率控制的电感耦合等离子体自激式射频发生器
(CD34511-0066-0063)射频多电容耦合等离子体表面处理设备
(CD34511-0044-0064)射频多电容耦合等离子体表面处理设备
(CD34511-0034-0065)基片电极调谐型射频感性耦合等离子体源
(CD34511-0035-0066)一种电感耦合等离子体装置
(CD34511-0016-0067)使用混合耦合等离子体的装置
(CD34511-0021-0068)磁等离子体控制电容耦合等离子体反应器
(CD34511-0046-0069)凹腔型线圈天线的感应耦合等离子体发生设备
(CD34511-0039-0070)用于大规模电感耦合等离子体源的紧凑、分布式感应元件
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