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薄膜、电薄膜、电介质薄膜、电解质薄膜及生产工艺技术 | |
作者:技术顾问 文章来源:百创科技 点击数 更新时间:2024/3/11 8:50:00 文章录入:admin 责任编辑:admin | |
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0083-0001、 含低介电常数绝缘膜的半导体装置的制造方法 摘要、 本发明涉及一种半导体装置的制造方法。该方法能够在不增加蚀刻停止膜(stopper)等蚀刻掩模层的厚度的情况下提高低介电常数绝缘膜与蚀刻掩模层的选择比。该半导体装置的制造方法具备:形成含有C和H的聚合物膜的第一绝缘膜的工序、在第一绝缘膜上的规定的区域形成含Si的第一蚀刻掩模层的工序、以及将第一蚀刻掩模层作为掩模,用含氮的蚀刻气体和能量宽度窄的单色化的离子能量,对第一绝缘膜进行等离子蚀刻的工序。 0059-0002、 一种电解水的复合膜电极 摘要、 本发明涉及一种电解水的复合膜电极的制造方法属于电化学技术领域,该方法包括:(1)在基体表面涂敷化合物溶液,形成第一层,并电沉积制成阳极耐腐基体;(2)将阴、阳极导电催化颗粒与离子聚合物溶液和粘接剂等制成悬浊液或膏状物;(3)将阳极导电催化颗粒悬浊液涂敷在电沉积一侧,形成阳极;(4)将阴极导电催化颗粒悬浊液涂敷在阴极基体的一侧,形成阴极;(5)在阴极、阳极涂有导电催化颗粒的一侧,喷或浸离子聚合物溶液,分别将阴、阳极有离子聚合物溶液的一侧与质子交换膜的一侧接触;(6)将该组合件热压,使导电催化颗粒嵌入导电透水基体、质子交换膜中,形成复合膜电极。本发明的优点是接触电阻小、寿命长、成本低。 0094-0003、 应用于MOS场效应管的栅电介质材料铝酸锆薄膜及其制法 本发明提供了一种应用于金属-氧化物-半导体场效应管的高介电系数栅电介质材料铝酸锆及其薄膜的制备方法。本发明的技术方案是利用脉冲激光沉积技术在1250℃温度下,把氧化锆和氧化废铝渣粉末经球磨混和后,再冷压成型成圆片然后烧结达6小时得铝酸锆陶瓷靶材;在氧气氛的生长室中进而制得铝酸锆薄膜。该发明提供的铝酸锆薄膜具有高的热力学稳定性,并具有较高介电系数和低漏电流。该材料的性能指标已经达到国际上同行得到的高介电系数栅电介质材料研究所达到的较高水平,同时也可满足功耗要求不高的半导体中场效管的实际应用要求。 0081-0004、 电子薄膜材料生长的加热器 摘要、 本发明涉及电子薄膜加热器,特别是用于新型电子薄膜材料生长系统的加热器。由支撑挂、加热灯管和两个环形电极组合而成,发热体为碘钨灯管,加热灯管固定在两个环形电极上,两个环形电极上对称设置有若干个加热灯管安装槽,加热灯管安装在槽内并通过螺钉压紧,外层安装一个反光罩,组成灯光照射式加热器。灯管与电极之间的安装采用快装“L”型槽和螺钉压紧式结构,方便可靠。本发明具有结构简单,制造安装方便,更换灯管快捷,尤其是加热器内还可以置有一个真空室,真空室内根据不同的需要通入一定组份的气体,即可实现不同薄膜的生长。这种加热器具有加热速度快,加热均匀,维修简单的特点广泛应用于新型电子薄膜材料生长的加热。 0170-0005、 在物品表面形成电镀膜的方法 摘要、 本发明的一个目的是提供一种在物品表面形成高粘附强度的均匀致密电镀膜的方法而不管物品的表面材料和表面性质如何。解决此问题的一种方法包括:在物品的表面上形成由包含分散其中的第一金属粉末的树脂制成的树脂涂层;接着通过将有树脂涂层的物品浸入一种包含电离势高于第一金属的第二金属离子的溶液中,在树脂涂层表面上形成第二金属置换镀膜;并进一步在金属置换镀膜的表面上形成第三金属的电镀膜。 0107-0006、 高分子电解质型燃料电池及其电解质膜-密封垫组合体 摘要、 本发明提供一种电解质膜-密封垫组合体,该组合体具有在高分子电解质膜及覆盖其周缘部的用密封材料构成的密封垫,前述电解质膜具有在周缘部上排列的多个透孔,且密封垫的覆盖前述电解质膜的一面的部分与覆盖另一面的部分通过前述电解质膜的透孔相连。该组合体可提供没有因密封垫从高分子电解质膜上脱落而引起的气体的交叉泄漏的高分子电解质型燃料电池。并且,最好包含在前述高分子电解质膜的两面上分别担载的催化剂层、以及覆盖从前述催化剂层的周缘部到高分子电解质膜的周缘部的部分的保护膜。 0148-0007、 用于全自动电泳仪的醋酸纤维膜的制造方法 摘要、 本发明公开了一种用于全自动电泳仪的醋酸纤维膜的制造方法包括以下步骤,由二醋酸纤维素、其溶剂和非溶剂混合搅拌溶解而成铸膜液;过滤、静置消泡;涂布于塑料基片上铸膜;使基片上的铸膜液凝胶固化;经后处理即得到成品膜。本发明获得的醋酸纤维膜在基片的支撑下有较好的强度,便于实验的进行,特别适合于全自动电泳仪使用。 0171-0008、 电路形成用感光性膜及印刷配线板的制造方法 摘要、 本发明的电路形成用感光性膜,在第一膜(基膜)上具有0.1~10μm厚度的感光层或者具有0.1~14μm厚的感光层,同时感光层中含有2,2-双(4-((甲基)丙烯酰基聚烷氧基)苯基)丙烷。 0167-0009、 从无电镀膜溶液中去除胺硼烷复合物的方法 摘要、 一种用于分离并环境友好地处理胺硼烷复合物的方法包括吸附胺硼烷复合物到载体上,当场在吸附剂上用氧化剂处理所吸附的胺硼烷复合物形成分解产物而不生成氢气收集分解产物以将其处理。 0011-0010、 用于装配电子器件的层叠薄膜和用于装配电子器件的薄膜载带 摘要、 用于装配电子器件的层叠薄膜包含被热压粘合的导电层和绝缘膜。绝缘膜在其宽度方向上的热膨胀系数基本上等于或高于导电层在其宽度方向上的热膨胀系数。 0076-0011、 用于锂离子二次电池的聚偏氟乙烯薄膜的制备方法 0080-0012、 一种用于制造熔融碳酸盐燃料电池隔膜材料的锂酸废铝渣粉末及其制作方法 0163-0013、 形成金属氧化物膜的方法和在气体放电管中形成二次电子发射膜的方法 0172-0014、 氧化物烧结体和溅射靶,以及用作电极的透明导电氧化物膜的制备方法 0005-0015、 超声喷雾法制备SnO#-[2、:F电热膜加热管的工艺 0098-0016、 聚合物电解质膜燃料电池铂/炭电催化剂的制备方法 0024-0017、 发热电阻器膜、记录头用基体、记录头和记录装置 0137-0018、 具有电位测控功能的三维电极-膜反应器 0198-0019、 强电介体薄膜的制造方法 0122-0020、 电子照相多层薄膜及其制造方法以及一种成像方法 0145-0021、 表面平坦的高温超导电体膜 0020-0022、 紫外光子复合辉光放电化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法 0015-0023、 电解质膜电极接合体的制造方法 0177-0024、 印刷电路板、半导体封装、基底绝缘膜以及互连衬底的制造方法 0095-0025、 应用于MOS场效应管的栅电介质材料氮铝酸锆薄膜及制法 0074-0026、 电池包装膜 0077-0027、 具有可决定湿或干角膜的电源的热角膜成形术系统 0069-0028、 将电荷俘获在绝缘膜内非易失性地存储信息的存储器 0093-0029、 具有低介电常数的多孔硅质膜和半导体装置及涂料组合物 0034-0030、 固体聚合物电解质膜复合电极结构中的阴极结构 0007-0031、 使用低介电常数膜的半导体装置的制造方法及晶片构造体 0037-0032、 电渗析膜生物反应槽及含*盐原水或废水的脱氮方法 0153-0033、 覆盖电子元件的保护膜的形成方法及有保护膜的电子仪器 0054-0034、 强化薄膜电介质多层粘贴塑胶眼镜片及薄膜强化方法 0200-0035、 用于制备含有新型成孔材料之多孔电介质薄膜的组合物 0060-0036、 一种磁敏电阻金属薄膜 0075-0037、 电极的连接方法及用于其中的表面处理配线板、粘接薄膜 0089-0038、 一种高沉积速率制备锂离子固体电解质薄膜的方法 0052-0039、 通过双向电流写入数据的薄膜磁体存储装置 0151-0040、 水溶液中电沉积法生产稀土磁性薄膜合金材料的工艺 0061-0041、 在衬底上电沉积具有最小边缘隔绝的均匀薄膜的方法和设备 0183-0042、 用于软性印刷电路板的聚酰亚胺膜以及采用该膜的软性印刷电路板 0121-0043、 电极构造、薄膜构造体的制造方法 0117-0044、 一种燃料电池用自增湿复合质子交换膜的制备方法 0068-0045、 一种各向异性磁电阻坡莫合金薄膜的制备方法 0150-0046、 电介质膜及其形成方法、半导体器件、非易失性半导体存储器件及半导体器件的制... 0115-0047、 密封Zn-Ni电池中疏水透气膜的制法 0078-0048、 电子发射性薄膜和用它的等离子体显示面板及其制造方法 0133-0049、 液相外延制备铁电厚膜的方法 0174-0050、 用于锂离子二次电池的防爆隔膜 0106-0051、 形成介电薄膜的方法 0105-0052、 具有高折射率的介电膜及其制备方法 0048-0053、 一种纳米孔聚合物电解质膜及其制备方法 0201-0054、 电子部件封装用薄膜载带及其制造方法 0109-0055、 一种蓝色电致发光有机膜及其制备方法 0192-0056、 含高介电常数绝缘膜的半导体设备和该设备的制造方法 0036-0057、 电化学构件用的薄膜及其制备方法 0097-0058、 用于渗透汽化的聚电解质膜和聚电解质复合物膜的制备方法 0022-0059、 滤色器、基板、电光装置、电子仪器、成膜方法和装置 0091-0060、 不含卤素的阻燃性环氧树脂组合物、不含卤素的复合多层板用阻燃性环氧树脂组合... 0033-0061、 金属箔上的锆钛酸铅介电薄膜复合材料 0047-0062、 聚合物电解质薄膜的制造方法 0155-0063、 电流垂直于膜面结构的磁阻元件 0112-0064、 无机/有机介电薄膜的沉积系统及方法 0055-0065、 一种梳型交联聚氨酯/丙烯酸酯聚合物电解质膜及其制备方法 0031-0066、 用于安全电子外壳的防窜改弹性膜 0113-0067、 制备具有可逆电阻改变性质的LCPMO薄膜 0100-0068、 电池以及引线绝缘膜 0185-0069、 氧化物薄膜、强电介体薄膜的制造方法、强电介体元件 0063-0070、 电致多色发光显示的高分子薄膜及其制备方法 0162-0071、 芳族磺酸酯衍生物、聚亚芳基及其制备方法以及聚合物固体电解质和质子导电膜 0186-0072、 用于电池隔板的交联聚合物支撑的多孔膜及采用它制备电池的方法 0168-0073、 在透明电阻膜上形成埂部的透明坐标输入装置及复合材料 0010-0074、 用于燃料电池的新型聚合物共混物膜 0023-0075、 一种可使燃料电池中的质子交换膜得到均匀水分布的方法 0085-0076、 用于在其上安装电子器件的膜片承载带及其制造方法 0165-0077、 压电体膜的制造方法、压电体元件和喷墨式记录头 0175-0078、 电池隔片用、负载有部分交联的粘合剂的多孔膜及其应用 0004-0079、 电热膜辐射对流式电取暖器 0042-0080、 真空电容传感器介质膜的制备方法 0025-0081、 包含有导电珠粒的薄膜晶体管液晶显示器及其制造方法 0140-0082、 一种用于锂二次电池的复合聚合物隔膜及其制备技术 0197-0083、 用于电子元件的载体薄膜,用于植入芯片卡内 0067-0084、 无机盐原料液相化学法制备SrBi#-[2、Ta#-[2、O#-[9、铁电... 0146-0085、 抑制了电流路径上的晶体管组的电阻的薄膜磁性体存储器 0032-0086、 一种制备Si基铁电薄/厚膜型微绝热结构阵列的方法 0012-0087、 燃料电池的膜片泵及使用此膜片泵的阳极气体循环系统 0176-0088、 用于制备多孔介电薄膜的包含糖类成孔剂的组合物 0101-0089、 一种制备大粉末颗粒材料的电镜薄膜样品的方法 0131-0090、 高介电系数栅电介质材料铝酸铪薄膜及其制备方法 0132-0091、 燃料电池用电解质膜电极接合体、使用它的燃料电池及其制造方法 0127-0092、 水平电场驱动用液晶取向处理剂、液晶取向膜及液晶显示元件 0143-0093、 铝合金薄膜和具有该薄膜的配线电路以及形成此薄膜的靶材 0086-0094、 采用电泳技术制备大面积高温超导钡钇铜氧厚膜的方法 0053-0095、 用于隔离多孔低K介电薄膜的结构和方法 0088-0096、 一种能够大面积制备锂离子固体电解质薄膜的方法 0002-0097、 用高介电系数膜的表面(横向)耐压结构 0050-0098、 电活化聚合体激励器和包含它的隔膜泵 0046-0099、 聚合物电解质膜及其制备方法 0120-0100、 一种化学电源电池的隔膜 0134-0101、 具有磺酸基和 0141-0102、 固态锂离子电池专用电解质膜制作工艺 0111-0103、 PEM燃料电池及更换PEM燃料电池薄膜电极组的方法 0199-0104、 燃料电池的运行方法、采用该方法工作的聚合物电解质膜燃料电池及其制备方法 0057-0105、 一种微交联型聚氨酯/丙烯酸酯聚合物电解质膜及其制备方法 0028-0106、 薄膜电容器及用于薄膜电容器的薄膜 0178-0107、 用于燃料电池的质子交换膜 0062-0108、 压电薄膜声发射器 0071-0109、 射频台式硅二极管电泳沉积玻璃钝化共形膜制备方法 0156-0110、 抑制附加在数据线等上的寄生电容的薄膜磁性体存储器 0058-0111、 具有可变电压和电流性能的多相微光电传感器视网膜植入物及置入装置 0082-0112、 高电热效率的陶瓷薄膜加热器电吹风 0138-0113、 一种质子交换膜燃料电池膜电极组件的制备方法 0179-0114、 恢复电介质膜及电介质材料中疏水性的方法 0044-0115、 用于燃料电池的膜片电极单元及其制造方法 0114-0116、 低介电常数绝缘膜形成用材料、低介电常数绝缘膜、低介电常数绝缘膜的形成方法... 0045-0117、 具有低介电膜的半导体器件及其制造方法 0001-0118、 多腔压电薄膜驱动泵 0118-0119、 防水键盘中印刷电路薄膜的制作方法 0193-0120、 印刷电路板的镀膜构造 0189-0121、 纳米复合物电解液膜及采用它的燃料电池 0102-0122、 电缆紧压线芯过膜方法 0019-0123、 电致发光材料包膜 0099-0124、 氧化介电薄膜的气相生长方法 0035-0125、 用于提高介电薄膜的系统和方法 0049-0126、 一种电梯钢面板贴膜方法 0158-0127、 高分子电解质膜与其制造方法以及用其制造的固体高分子型燃料电池 0051-0128、 低相对介电常数的SiOx膜、制造方法和使用它的半导体装置 0124-0129、 电介质涂覆的电极、等离子体放电处理装置和形成薄膜法 0092-0130、 半导体基板上形成前金属电介质薄膜的方法 0161-0131、 附有采用银合金膜的反射电极用薄膜的基板 0152-0132、 电子照相屏幕(EPS)成形的改良型成膜方法 0026-0133、 具有数据读出电流调节功能的薄膜磁性体存储器 0128-0134、 含有磷酸基的固体高分子电解质(复合)膜及其制造方法 0009-0135、 一种用于生产软性印刷电路板覆盖膜的粘合剂及其制备方法 0187-0136、 形成光敏电介体的组合物,以及利用该组合物的贴花薄膜、电介体和电子元件 0169-0137、 装有包括多孔结构电介质薄膜的半导体器件及其制造方法 0013-0138、 一种电子级水的集成膜过程生产工艺与过程 0079-0139、 一种质子交换膜燃料电池用的自保湿复合膜及其制备方法 0139-0140、 低介电损耗正切膜和配线膜 0016-0141、 电子膜纳米发热电热水器 0180-0142、 机械加固的高度多孔低介电常数薄膜 0006-0143、 电子束物理气相沉积制备软磁与陶瓷纳米复合薄膜 0108-0144、 燃料电池用电解质膜-电极接合体的制造方法 0084-0145、 低介电氮化硅膜及其制造方法和半导体器件及其制造工艺 0191-0146、 用于窄隙填充用途的介电薄膜 0195-0147、 用于在其上安装电子器件的薄膜载带 0129-0148、 填充床电渗析除盐器用聚乙烯异相离子交换膜 0160-0149、 薄膜制造用剥离膜及其制造方法及电子部件用薄膜的制造方法 0184-0150、 电介体膜及其形成方法使用其的半导体装置及制造方法 0017-0151、 用于自湿润式燃料电池的膜片式电极单元及其制造方法和燃料电池组 0166-0152、 金属氧化物介电膜气相生长方法和PZT膜 0096-0153、 一种用于渗透汽化的聚电解质膜和聚电解质复合物膜的制备方法 0130-0154、 高介电系数栅电介质材料氮铝酸铪薄膜及其制备方法 0135-0155、 电子元件安装用薄膜载体带的检查编辑装置及其方法 0125-0156、 用于装配电子零件的薄膜承载带 0147-0157、 电介质薄膜元件及使用它的执行元件、喷墨头和喷墨记录装置 0030-0158、 燃料电池用质子交换膜复合膜制备方法 0056-0159、 一种多孔型聚氨酯/丙烯酸酯聚合物电解质薄膜及其制备方法 0087-0160、 可用作电池阳极材料的过渡金属氮化物薄膜及其制备方法 0003-0161、 用于铁电薄膜的金属有机化学气相沉积和退火处理 0043-0162、 电池防爆用铝塑复合膜及其复合方法 0041-0163、 电气光学装置、膜状部件、层压膜、低折射率膜 0123-0164、 压电薄膜以及其制造方法、以及具备该压电薄膜的压电元件、以及使用该压电元件... 0142-0165、 绝缘基材的原料、印刷电路板、层压板、附着树脂的铜箔、镀铜层压板、聚酰亚胺... 0149-0166、 使用低介电常数绝缘层的薄膜晶体管衬底及其制造方法 0110-0167、 有机高分子-无机纳米复合电阻型薄膜湿敏元件及其制作方法 0008-0168、 电池用强化隔膜材料及其制造方法 0070-0169、 耐高温聚丙烯电容膜及生产方法 0039-0170、 低介电常数材料薄膜的制造方法 0190-0171、 电解质膜-电极接合体及使用其的燃料电池的运行方法 0119-0172、 电路基板、电路基板用构件及其制造方法和柔性薄膜的层压方法 0136-0173、 金属-电介质双层纳米膜的亚微米非金属微球及制备方法 0014-0174、 一种中温固体氧化物燃料电池PEN多层膜及其制造方法 0116-0175、 一种固体电解质晶体材料及其晶体薄膜制备方法 0154-0176、 铁电体薄膜、金属薄膜或氧化物薄膜、其制造方法和制造装置以及使用薄膜的电子... 0188-0177、 电子照相用层压薄膜和制备方法以及成像方法 0181-0178、 纳米复合高介电常数铝氧化膜生长技术 0090-0179、 电子产品显示幕多层膜色彩的制造方法 0159-0180、 用于装配电子零件的薄膜承载带及用于涂覆阻焊剂的印网掩模 0040-0181、 薄膜压电体元件及其制造方法以及使用该薄膜压电体元件的致动器装置 0064-0182、 将数据写入电流提供给多个存储块的薄膜磁存储装置 0164-0183、 用于形成压电体膜的组合物、压电体膜的制造方法、压电体元件和喷墨式记录头 0196-0184、 用于安装电子设备的薄膜载带、生产方法和电镀装置 0029-0185、 复合羧甲基壳聚糖的荷电微孔膜制备方法 0144-0186、 一种无萃取复合聚合物锂离子电池隔膜及其制造方法 0021-0187、 一种纳米电热膜的制造方法和用纳米电热膜制成的散热板 0126-0188、 一种固体氧化物燃料电池用氧化锆电解质薄膜材料和其制备方法 0038-0189、 一种具有电双稳特性的有机聚合物薄膜及其应用 0072-0190、 聚合物电解质膜燃料电池无担载催化剂电极的制作方法 0182-0191、 漏电流少且绝缘耐压高的薄膜电容器的形成方法 0066-0192、 以溶剂处理电解质膜的燃料电池制造方法 0104-0193、 电磁波屏蔽膜、电磁波屏蔽组件及显示器 0073-0194、 一种电热膜制造方法 0173-0195、 电子部件封装用薄膜载带的检查方法及其检查装置 0065-0196、 超薄电极、隔膜和超薄一次电池和超薄二次可循环充放电池及该电极、隔膜、电池... 0194-0197、 铁电薄膜及其形成方法 0103-0198、 自增湿固体电解质复合膜及其制备工艺 0157-0199、 一种碱性电池隔膜的制造方法 0027-0200、 用于薄膜电容器的薄膜及薄膜电容器 0018-0201、 用于固体聚合物电解质燃料电池的膜电极组件及其制造方法 0202-0202、 一种电池隔离膜 |
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