真空泵、喷射真空泵、带真空泵、制备方法及生产工艺技术
0076-0001、 制作半导体存贮器件的电容器下电极的方法
摘要、 制作半导体存贮器件电容器下电极的方法。在衬底上形成绝缘膜图形，具有将衬底的预定区域暴露的接触孔。在所形成膜的全表面淀积掺杂非晶硅膜。下电极图形通过光刻成形非晶硅膜而形成。通过清洗从所形成膜去除沾污和表面氧化膜。非晶硅薄层通过将清洗过的所形成膜装入保持高真空的处理室并以预定时间向处理室提供预定气体而淀积到下电极图形的表面上。在非晶硅薄层上许多硅单晶核形成并生长，进而形成具有粗糙表面的下电极。
0150-0002、 升华泵泵体
摘要、 本实用新型涉及获得高真空的吸附抽吸泵的泵体。泵体由泵底、本体部分和接头组成、本体部分为波纹管异型不锈钢型材制成，壁厚仅０。６－１毫米，与泵底和接头焊接成一整体。本实用新型的新结构，经试验结果，不需冷却装置就能达到设计要求，必要时，也可增 设风扇，进行强制通风，以提 高冷却效果，本设计大大简化了升华泵泵体的结构，便于制造和降低成本。
0170-0003、 三级汽水串联喷射真空泵机组
一种三级汽水串联的喷射真空泵机组，它是由两个蒸汽喷射泵和一水喷射泵串联而成，并配有工作离心泵、水箱、调节阀门、汽水分离器通过管路附件组成的成套装置。它是将两种不同工作原理即使用不同工作介质的喷射泵串联起来，从而大大地提高工作真空度，它适用于较高真空下的减压蒸发、蒸馏等工艺过程。它采用喷射泵卧式放置低位安装方式，因此机组具有结构简单合理、体积小、使用方便、成套性强的优点。
0021-0004、 厚大成型蓝宝石的生长工艺
摘要、 本发明给出的是一种制造生产蓝宝石的新工艺方法——厚大成型蓝宝石的生长工艺。它属电真空技术领域，其工艺方法要求单晶炉设备的低真空值要达到１０，－?/，乇、高真空值达到１０，－５，乇，导模及热场在高真空条件下高温煅烧，其规范控制在１０，－３，乇，并且要接近宝石的熔点温度，控制结晶界面具有一定的斜面形状。从而从根本上突破了在结晶过程中析出气体的逸出，保证了蓝宝石的质量，蓝宝石晶体的成品率达８０％左右，解决了多年来用阻热法难使生长厚大宝石成型晶体的难题。
0173-0005、 柔性石墨增强密封板
摘要、 本实用新型公开了一种柔性石墨增强密封板包含多层柔性石墨板和相间衬入的网状织物夹层，该夹层可以是非金属纤维织物或金属丝网；非金属纤维织物可以枪柘宋蚴敲尴宋蚴腔宋铮挥檬惺劢赫臣粱旌辖涟枧涑商刂纸?粘剂粘合经滚压形成互相啮合的板状结构。该密封板回弹性好，耐温范围广，耐强酸、强碱、油品、蒸汽等，长期不老化，密封性好，泄漏率低，能承受高压高真空，无毒无污染可按需要裁剪，且制造成本低广泛应用于各种设备静密封，是理想的密封材料。
0098-0006、 快速“高真空击密法”软地基处理工法
摘要、 本发明涉及一种快速“高真空击密法”软地基处理工法是采用高真空井点降水加振动碾压或强夯方法来降低被处理土体的含水量，以提高土体密实度。高真空井点降水即采用：在需处理软地基上扦置数排真空管，在井点设备基础上，加置一真空泵和一自动动态平衡筒，平衡筒分别与真空泵、井点设备总集水管和排水泵相连，真空抽水至一定含水量；振动碾压或强夯即采用：在需处理土体达一定含水量的同时，采用击振设备击实需处理的土体达一定密实度。本发明施工工期短、施工造价较低、处理后承载能力较高。
0130-0007、 双晶单色器第二晶体的2维角度精密微调装置
摘要、 一种用于双晶单色器第二晶体的2维角度微调装置属于机械领域。本发明上支架板与定位板之间用螺钉连接后，再与机架用螺钉连接，定位，2个调整螺钉位于定位板的螺孔内，带编码器的直线步进电机的头部螺杆插入上支架板的安装孔后定位，将拉伸弹簧组件定位于两端部螺杆上，将另一带编码器的直线步进电机的头部螺杆插入中支架板的安装孔后固定，将另2套柔性铰链组件分别与中支架板、下支架板连接，将另一拉伸弹簧组件定位于两端部螺杆上，将调整板装入第二晶体，2个晶体压板与晶架连接，晶架与下支架板连接。本发明柔性铰链具有无机械摩擦、无需润滑、精度高等优点非常适合在高真空状态下工作的精密仪器或装置能够实现远程精密可控调节。
0133-0008、 无磁性立方织构铜镍合金基带及其制备方法
摘要、 一种多晶立方织构无磁性铜镍合金基带，其特征在于：该铜镍合金基带中的镍的含量小于40重量％，该基带在涂层超导带材应用条件下不具有磁性；该。其方法将高纯度铜和镍采用中频感应熔炼成锭坯；室温下锻造成坯料；定向轧制总加工率≥95％，道次变形量为10％-20％；高温高真空或者N2或A2中结晶退火，退火温度为750℃-1000℃。该基带以满足在此类基带上外延生长高质量钇钡铜氧YBCO厚膜的需要。
0125-0009、 纳米金填充氧化物复合陶瓷薄膜的制备方法
摘要、 用溶胶-凝胶方法制备了一种纳米金填充的氧化物复合陶瓷薄膜材料。本方法合成工艺简单、溶胶的稳定性强、金填充量易于控制。所制备的复合陶瓷薄膜中金以纳米核的形式均匀、不连续分散金粒子的直径为13～30nm。该类复合陶瓷薄膜可用作光学薄膜或特殊工况条件下(如高真空、原子氧、强辐射、强腐蚀等)的减摩抗磨涂层。
0145-0010、 高真空冷冻、升华、干燥粉碎一体机设计方法及装置
摘要、 本发明涉及一种粉碎机更具体地是指高真空冷冻、升华、干燥粉碎一体机设计方法及装置它采用真空冷冻设计，其装置在辗デ惶灞籙形分隔板隔成辗磨腔和冷媒腔，出粉螺旋轴与辗磨腔相通，在伸缩连杆的另一端连接由摇曳动力器支架支撑的摇曳动力器，在辗磨腔上设有的热媒进出口、媒液进出口和真空泵接口。适用于中药、西药、生物制品的活体材料或易燃易爆类固体类防爆粉碎，具有清洗、浸渍、干燥粉碎一次完成，同时又由于在高真空条件下进行，产品质量符合国家GMP要求，极大地提高粉碎物品质，又由于在冷冻条件下进行粉碎，完全保留了粉碎物有效成份。
0005-0011、 触头材料的生产方法
0030-0012、 高真空多靶磁控溅射方法和装置
0056-0013、 高效、节能、组合式草浆黑液提取装置
0167-0014、 聚合物固体物料增粘和干燥真空转鼓装置
0025-0015、 绝热体
0022-0016、 制冷方法和装置
0081-0017、 改性聚合物表面以改善其润湿性的方法
0093-0018、 芦荟冻干片加工工艺
0104-0019、 防止涡旋压缩机真空压缩的装置
0072-0020、 介电陶瓷和使用它的电容器
0165-0021、 内加热复合金属丝网壳体的短程蒸馏器
0032-0022、 制取固体激光器用的晶体薄膜的方法和装置
0003-0023、 汽油发动机蒸汽喷射式化油方法
0136-0024、 热管式喷嘴
0068-0025、 真空冷冻干燥枸杞粉及其加工工艺
0078-0026、 二十二碳六烯酸的制备和酯化工艺
0154-0027、 复合式高效消烟除尘器
0066-0028、 有预真空泵的检漏仪
0085-0029、 低损耗液氮低温箱
0135-0030、 带有吸气性低合金结构件的高真空元器件
0121-0031、 热致性高分子液晶聚酯酰亚胺直接缩聚合成方法
0057-0032、 具有极低吸放气率的高真空微电离规
0119-0033、 *油酸酯的合成方法
0023-0034、 耐负压防腐衬里产品
0024-0035、 α-羟基-γ-氨基丁酸合成工艺
0123-0036、 铬锆铜质连铸结晶器铜板熔铸成型工艺
0157-0037、 U形真空泵
0010-0038、 泄漏检测器以及其工作方法
0112-0039、 压电元件及其封装
0186-0040、 带真空规管的高真空阀门
0108-0041、 高隔热、高隔音玻璃及其制作方法
0007-0042、 深区PN结二极管
0071-0043、 半导体器件的制造方法
0169-0044、 悬锥形离心式分子蒸馏器
0073-0045、 光记录媒体及其制造方法
0114-0046、 多晶半导体层的制造方法及激光退火装置
0091-0047、 废油再处理的方法、用该方法获得的基油及其应用
0160-0048、 高真空油扩散泵
0097-0049、 将流体分散后供给的喷嘴板部件及其制造方法
0182-0050、 高真空反应釜搅拌机及密封系统
0120-0051、 光电调制解调器
0161-0052、 真空排油泵
0183-0053、 高真空角阀
0168-0054、 外加热复合金属丝网壳体的短程蒸馏器
0018-0055、 高真空高压液体饱和法测定全直径岩样孔隙度
0045-0056、 使用吸附泵的便携式气相色谱-质谱仪
0099-0057、 采用类金刚石修饰人工晶体的方法
0128-0058、 装料取料机械手
0134-0059、 耐高温贮存野坝子优质块状硬蜜生产技术
0171-0060、 高温高真空刮板薄膜蒸发器
0060-0061、 与液相色谱仪联用的质谱装置
0043-0062、 新型长寿命霓虹灯及制造工艺
0151-0063、 玻璃壳金属蒸气激光器
0158-0064、 双作用式高真空闸阀
0084-0065、 钨的超微粒子及其制法
0107-0066、 一种低温金相计算机实时采集系统
0184-0067、 汽压往复式隔膜真空泵机组
0020-0068、 高真空绝热的方法及其所用的真空绝热体
0176-0069、 高真空、高电压、大电流继电器
0092-0070、 一种低羟基石英管的生产方法
0075-0071、 可生物降解的高性能烃类基础油
0079-0072、 由甘蔗蜡制取高纯度二十八碳醇的方法
0067-0073、 内燃机进气歧管自动阀
0090-0074、 一种高温碳化硅半导体材料制造装置
0038-0075、 制备间苯氧基溴苄的方法
0058-0076、 一种稀土磁性保健盒及其用途
0089-0077、 电子束照射装置、电子束照射方法、原版盘、压模和记录媒体
0149-0078、 无冷凝器蒸汽喷射真空泵
0052-0079、 场致发射显示器
0062-0080、 绝缘体上的硅衬底的制造方法及制造设备
0129-0081、 三、四*甲醚的制备方法及其副产物多*甲醚的再利用方法
0088-0082、 从液相外延废液中回收高纯金属镓工艺方法
0102-0083、 高真空油及其制备方法
0061-0084、 用于制备光学基体上防水涂层的材料及方法
0163-0085、 聚合物固体物料增粘和干燥高真空转鼓装置
0070-0086、 用人脐动脉作为血管移植物的制备工艺
0001-0087、 热阴极极高真空规
0187-0088、 霓虹灯排气球面压力密封阀
0116-0089、 载人飞行装置
0064-0090、 高真空油精炼系统和工艺
0147-0091、 宽量程半导体真空计
0113-0092、 一种无上密封的新型阀门(磁力启闭阀)
0074-0093、 超高真空化学气相淀积外延系统
0137-0094、 纳米碳基薄膜场发射压力传感器
0174-0095、 一种高反射真空镀铝复合材料
0105-0096、 高频无磁液氮杜瓦
0103-0097、 平面型图像显示装置制造方法及平面型图像显示装置的制造设备
0046-0098、 螺旋波等离子处理方法及装置
0047-0099、 制备芳族聚碳酸酯的方法
0156-0100、 耐负压防腐衬里产品
0190-0101、 并列式喷射井点机组
0036-0102、 喷射冲洗抽水马桶
0111-0103、 双套管
0185-0104、 活塞式真空泵
0106-0105、 新型稀土系贮氢电极合金及其淬火处理方法
0008-0106、 处理原油提炼中真空蒸馏残渣油的方法
0054-0107、 一种抽吸高真空度的方法
0117-0108、 生产半导体纯度级原料的高真空度电子束提纯系统
0055-0109、 真空泵
0049-0110、 为车辆储存能量的飞轮系统
0033-0111、 自动记录仪定子磁芯磁性绝缘性处理方法
0110-0112、 块状碳化硅单晶生长的制备方法
0095-0113、 多个单片晶片气塞晶片处理装置及其装卸方法
0180-0114、 旋片真空泵高压级卸载装置
0126-0115、 蒸汽直排式空调冷水机组
0159-0116、 一种四极式宽量程电离规管
0179-0117、 双冷式热平衡装置
0164-0118、 不锈钢保温瓶
0014-0119、 卫生级香型杀螟松的制造工艺
0065-0120、 低压水银蒸气放电灯、照明装置及显示装置
0077-0121、 半导体器件的制造方法和半导体器件
0155-0122、 双室旋转磁控溅射镀膜机
0166-0123、 真空热处理炉加热装置
0012-0124、 膨化乳食品的工艺方法
0094-0125、 金属实收率高的稀土－铁－硼熔炼工艺
0031-0126、 热敏性物料真空自循环快速蒸发-冷凝分离方法
0143-0127、 合金铸铁活塞环离子氮化处理技术
0013-0128、 静态高真空阀
0138-0129、 涡旋式压缩机防止真空压缩装置
0152-0130、 透平油处理真空净油机
0029-0131、 儿童智力营养食品
0050-0132、 钛酸铅、镧薄膜的形成方法
0026-0133、 柔性石墨增强密封板及其制造工艺
0142-0134、 热管封口工具高真空阀
0127-0135、 一种对烟草浸膏深加工制烟草净油及富集茄尼醇的方法
0131-0136、 金属纳米粒子-半导体介质复合薄膜及制法和全光克尔开关
0118-0137、 三羟甲基丙烷油酸酯的合成方法
0141-0138、 实现容器中高真空度快速抽提的方法及其组合机组
0069-0139、 带有级间阀的多级机械高真空泵
0042-0140、 一种多束动态混合注入技术及其装置
0080-0141、 新型太阳能集热管
0006-0142、 腌肉的制取方法
0100-0143、 在低分子量聚碳酸酯生产中催化剂的猝灭方法
0039-0144、 段式旋转真空泵
0109-0145、 有机电致发光材料及其电致发光器件
0132-0146、 长期运输用运输系统和最好是用于长期运输的运输容器
0140-0147、 低温立式搅拌球磨机
0087-0148、 制作图象显示装置的方法和设备
0004-0149、 利用钛铁锰合金制备超纯氢的方法和装置
0053-0150、 钢水的真空精炼方法
0002-0151、 极高真空分离规
0144-0152、 网－管式热交换器
0115-0153、 新型稀土系贮氢电极合金及其热处理方法
0048-0154、 对流式嗅敏检漏仪
0162-0155、 具有高压力及高真空的污水污泥处理装置
0101-0156、 制造精制鱼油的方法
0051-0157、 带真空泵的检漏器及其工作方法
0146-0158、 一种中草药消毒护理液及其生产方法
0178-0159、 蒸发器抽气管
0083-0160、 杀菌防霉剂244’－三氯－2’－羟基二苯醚的提纯方法
0082-0161、 一种大环双酯类麝香化合物的提纯精制方法
0035-0162、 静声器
0011-0163、 一种盘形涡轮复合分子泵
0096-0164、 具有极低吸放气率的极高真空微电离规
0009-0165、 真空联合堆载预压加固软土地基法
0034-0166、 以松脂为原料催化加氢制二氢或四氢脂松香
0086-0167、 纳米晶巨磁阻抗复合材料及其制备方法
0019-0168、 新法真空、制冷、发电技术
0063-0169、 线型高粘度尼龙6的生产工艺
0028-0170、 高清晰度彩色光显示器
0041-0171、 高真空超压力充气阀门
0181-0172、 液氮冷藏运输集装箱
0148-0173、 超高真空自动阀门—液压驱动
0139-0174、 气相沉积镀膜与真空热处理在线结合的复合镀膜设备
0059-0175、 半导体器件中CVD铝膜的制造方法
0177-0176、 高真空保鲜容器
0172-0177、 机械密封用波纹焊管
0017-0178、 α-氰基丙烯酸乙酯齐聚物工业化生产方法
0124-0179、 半连续法生产聚酯切片的缩聚新工艺
0016-0180、 电子器件的制造方法
0037-0181、 一种纳米级导电纤维的制备方法
0027-0182、 贮氢材料的一种活化方法
0044-0183、 强电介质薄膜及其制造方法
0122-0184、 除气和冷却两用的装卸锁定组合装置
0188-0185、 不锈钢高真空保温杯
0015-0186、 高磁能积钕镨永磁合金及其工艺
0040-0187、 吸附泵
0153-0188、 真空吸尘机组
0189-0189、 双级耐腐蚀液环真空泵
0175-0190、 无位汽、水串联喷射真空泵
0191-0191、 两级液环式真空泵
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摘要、 制作半导体存贮器件电容器下电极的方法。在衬底上形成绝缘膜图形，具有将衬底的预定区域暴露的接触孔。在所形成膜的全表面淀积掺杂非晶硅膜。下电极图形通过光刻成形非晶硅膜而形成。通过清洗从所形成膜去除沾污和表面氧化膜。非晶硅薄层通过将清洗过的所形成膜装入保持高真空的处理室并以预定时间向处理室提供预定气体而淀积到下电极图形的表面上。在非晶硅薄层上许多硅单晶核形成并生长，进而形成具有粗糙表面的下电极。
0150-0002、 升华泵泵体
摘要、 本实用新型涉及获得高真空的吸附抽吸泵的泵体。泵体由泵底、本体部分和接头组成、本体部分为波纹管异型不锈钢型材制成，壁厚仅０。６－１毫米，与泵底和接头焊接成一整体。本实用新型的新结构，经试验结果，不需冷却装置就能达到设计要求，必要时，也可增 设风扇，进行强制通风，以提 高冷却效果，本设计大大简化了升华泵泵体的结构，便于制造和降低成本。
0170-0003、 三级汽水串联喷射真空泵机组
一种三级汽水串联的喷射真空泵机组，它是由两个蒸汽喷射泵和一水喷射泵串联而成，并配有工作离心泵、水箱、调节阀门、汽水分离器通过管路附件组成的成套装置。它是将两种不同工作原理即使用不同工作介质的喷射泵串联起来，从而大大地提高工作真空度，它适用于较高真空下的减压蒸发、蒸馏等工艺过程。它采用喷射泵卧式放置低位安装方式，因此机组具有结构简单合理、体积小、使用方便、成套性强的优点。
0021-0004、 厚大成型蓝宝石的生长工艺
摘要、 本发明给出的是一种制造生产蓝宝石的新工艺方法——厚大成型蓝宝石的生长工艺。它属电真空技术领域，其工艺方法要求单晶炉设备的低真空值要达到１０，－?/，乇、高真空值达到１０，－５，乇，导模及热场在高真空条件下高温煅烧，其规范控制在１０，－３，乇，并且要接近宝石的熔点温度，控制结晶界面具有一定的斜面形状。从而从根本上突破了在结晶过程中析出气体的逸出，保证了蓝宝石的质量，蓝宝石晶体的成品率达８０％左右，解决了多年来用阻热法难使生长厚大宝石成型晶体的难题。
0173-0005、 柔性石墨增强密封板
摘要、 本实用新型公开了一种柔性石墨增强密封板包含多层柔性石墨板和相间衬入的网状织物夹层，该夹层可以是非金属纤维织物或金属丝网；非金属纤维织物可以枪柘宋蚴敲尴宋蚴腔宋铮挥檬惺劢赫臣粱旌辖涟枧涑商刂纸?粘剂粘合经滚压形成互相啮合的板状结构。该密封板回弹性好，耐温范围广，耐强酸、强碱、油品、蒸汽等，长期不老化，密封性好，泄漏率低，能承受高压高真空，无毒无污染可按需要裁剪，且制造成本低广泛应用于各种设备静密封，是理想的密封材料。
0098-0006、 快速“高真空击密法”软地基处理工法
摘要、 本发明涉及一种快速“高真空击密法”软地基处理工法是采用高真空井点降水加振动碾压或强夯方法来降低被处理土体的含水量，以提高土体密实度。高真空井点降水即采用：在需处理软地基上扦置数排真空管，在井点设备基础上，加置一真空泵和一自动动态平衡筒，平衡筒分别与真空泵、井点设备总集水管和排水泵相连，真空抽水至一定含水量；振动碾压或强夯即采用：在需处理土体达一定含水量的同时，采用击振设备击实需处理的土体达一定密实度。本发明施工工期短、施工造价较低、处理后承载能力较高。
0130-0007、 双晶单色器第二晶体的2维角度精密微调装置
摘要、 一种用于双晶单色器第二晶体的2维角度微调装置属于机械领域。本发明上支架板与定位板之间用螺钉连接后，再与机架用螺钉连接，定位，2个调整螺钉位于定位板的螺孔内，带编码器的直线步进电机的头部螺杆插入上支架板的安装孔后定位，将拉伸弹簧组件定位于两端部螺杆上，将另一带编码器的直线步进电机的头部螺杆插入中支架板的安装孔后固定，将另2套柔性铰链组件分别与中支架板、下支架板连接，将另一拉伸弹簧组件定位于两端部螺杆上，将调整板装入第二晶体，2个晶体压板与晶架连接，晶架与下支架板连接。本发明柔性铰链具有无机械摩擦、无需润滑、精度高等优点非常适合在高真空状态下工作的精密仪器或装置能够实现远程精密可控调节。
0133-0008、 无磁性立方织构铜镍合金基带及其制备方法
摘要、 一种多晶立方织构无磁性铜镍合金基带，其特征在于：该铜镍合金基带中的镍的含量小于40重量％，该基带在涂层超导带材应用条件下不具有磁性；该。其方法将高纯度铜和镍采用中频感应熔炼成锭坯；室温下锻造成坯料；定向轧制总加工率≥95％，道次变形量为10％-20％；高温高真空或者N2或A2中结晶退火，退火温度为750℃-1000℃。该基带以满足在此类基带上外延生长高质量钇钡铜氧YBCO厚膜的需要。
0125-0009、 纳米金填充氧化物复合陶瓷薄膜的制备方法
摘要、 用溶胶-凝胶方法制备了一种纳米金填充的氧化物复合陶瓷薄膜材料。本方法合成工艺简单、溶胶的稳定性强、金填充量易于控制。所制备的复合陶瓷薄膜中金以纳米核的形式均匀、不连续分散金粒子的直径为13～30nm。该类复合陶瓷薄膜可用作光学薄膜或特殊工况条件下(如高真空、原子氧、强辐射、强腐蚀等)的减摩抗磨涂层。
0145-0010、 高真空冷冻、升华、干燥粉碎一体机设计方法及装置
摘要、 本发明涉及一种粉碎机更具体地是指高真空冷冻、升华、干燥粉碎一体机设计方法及装置它采用真空冷冻设计，其装置在辗デ惶灞籙形分隔板隔成辗磨腔和冷媒腔，出粉螺旋轴与辗磨腔相通，在伸缩连杆的另一端连接由摇曳动力器支架支撑的摇曳动力器，在辗磨腔上设有的热媒进出口、媒液进出口和真空泵接口。适用于中药、西药、生物制品的活体材料或易燃易爆类固体类防爆粉碎，具有清洗、浸渍、干燥粉碎一次完成，同时又由于在高真空条件下进行，产品质量符合国家GMP要求，极大地提高粉碎物品质，又由于在冷冻条件下进行粉碎，完全保留了粉碎物有效成份。
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0025-0015、 绝热体
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