102111345.9湿法腐蚀制造微机械电容式加速度传感器及其结构
202136742.6一种高固有频率的量程可达200万m，s2的微机械加速度传感器
302120366.0一种快速缓解手闸的机械传感器
401811623.X用于检测力或振动的机械电传感器
503129302.6微机械传感器气密封装用等温凝固方法
695194455.X微型机械记忆传感器
789104906.1机械传感器
889100488.2拉线机械传动输出电量的长度、角度测量的传感方法和拉线机械传动输出电量的长度，角度传感器
991103380.7机械扫描式焊缝跟踪光电传感器
1099803021.X根据第一位置测量机械压力变形和根据该压力自动进行校正的形变测量传感器
11200710139610.X微机械热流式传感器的加工方法
12200610112937.3微机械硅谐振式气体流速传感器
13200580044862.3振荡微机械角速度传感器
14200610053558.1硅微机械谐振式微压传感器芯片的结构及制造方法
15200680021779.9微机械运动传感器的制造方法以及微机械运动传感器
16200710196832.5工作机械中的温度传感器的异常检测方法
17200710300105.9工作机械中的温度传感器的异常检测方法
18200680022953.1微机械加工的麦克风和多传感器及其制造方法
19200680024868.9微机械传感器、传感器阵列和方法
20200680025913.2通过机械微创外科手术过程中联合传感器和，或照相机导出数据实现3－D刀具跟踪的方法与系统
21200810009229.6用于胃束带压力测量的外部机械压力传感器
2202272789.2带光电传感器的十进制机械计数机构
2302269471.4机械传感器常开式全自动拦车器
2402266744.X一种量程可达200万m，s2的微机械加速度传感器
2502280475.7机械式气压传感器
2694238685.X报警器用的机械式传感器
2787217536工程机械自动找平纵向控制传感器
2888203086.8工程机械自动找平横向控制传感器
2989201094.0拉线机械传动输出电量的长度、角度传感器
3093235834.9机械举升式油井光杆悬重传感器
3195233042.3面粉机械物料流量传感器
3295242302.2差动式石英晶片机械量传感器
3396201397.8用于测量真空断路器机械参数的传感器
3400209432.0计数器机械传感器
3500217895.8微机械梳状电容式加速度传感器
3602209029.0用于变间距电容式非接触型角位移传感器的机械传动装置
3701238754.1一种量程可达20万m，s2的微机械加速度传感器
3802210209.4机械扭矩传感器
39200720038336.2多层梁结构的电容式微机械温度传感器
40200720304824.3二维机械接触式焊缝跟踪传感器
41200720188305.5机械式机油传感器
42200410064949.4基于微机械加工的风速传感器及其制造方法
43200410064684.8在线微波功率微机械传感器及其制造方法
44200410064748.4直接加热终端式微电子机械系统微波功率传感器及其制备方法
45200410041882.2间接加热终端式微波功率微机械传感器及其制备方法
46200410091549.2共振隧穿微机械力传感器及其制造方法
47200410065873.7光纤微电子机械系统压力传感器及其复用结构
48200410101006.4提高单梁结构微机械谐振压力传感器激励性能的方法
49200510008053.9湿法腐蚀制造的微机械电容式加速度传感器
5003814399.2在纺织机械中用于评测传感器信号的方法和装置
5103132188.7一种硅微机械倾角传感器和☎15542181913
5201821908.X表面微型机械加工的绝对压力传感器及其制造方法
5303157391.6用于微机械传感器的半频驱动及闭环方法
5403138275.4机械形变量检测传感器
55200310112820.1光－机械式微梁阵列热型红外图象传感器
56200480018294.5六自由度微机械多传感器
57200610009083.6用于图像传感器的机械快门装置
58200510111362.9三维集成微机械加速度传感器及☎15542181913
5902822246.6机械感测装置和冲撞能量传感器
60200510012602.X量程可机械调理的应变传感器及其制造方法
61200510089698.X高灵敏度的电容性显微机械加工的超声波传感器
62200510012884.3微机械角加速度传感器
63200480003438.X建筑机械中臂角度传感器装置
64200510130477.2纳米结构微机械生化传感器
65200610009135.X图像传感器中采用化学机械抛光的自对准金属硅化物工艺
66200610046364.9一种机械字轮计数器非接触读数传感器及设计方法
67200480023755.8装有传感器并且由算法控制的直接机械式心室辅助装置
68200610026522.4一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法
69200610040599.7基于微机械系统的非热式流速流向传感器
70200610040600.6基于微机械技术的电容非热式流速传感器
71200610040701.3基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器
72200610012108.8电阻拾振式硅微机械谐振传感器的锁相闭环系统
73200480028542.4通过使用垫调节器的传感器信号控制化学机械抛光的方法及系统
74200510026035.3微机械压力传感器及其圆片级封装方法
75200610089391.4电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环
76200610089390.X电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环
77200610092829.4尤其用于地面输送机械的电转向装置的旋转角传感器
78200510088633.3采用微机械加工热隔离结构的热式传感器及其制造方法
79200510092880.0单片单晶硅微机械加工的电容式压力传感器
80200610029423.1基于（111）硅的微机械加速度传感器及制造方法
81200610114276.8电磁－压阻式微机械谐振梁传感器
82200510096134.9微机械式三轴角速率传感器
83200510015413.8机械式计数器传感器
84200610118484.5微机械电容式加速度传感器及☎15542181913
85200610098136.6硅微机械两维倾角传感器芯片及☎15542181913
86200610165575.4一种“中”字形谐振式硅微机械压力传感器
87200610165574.X具有辅助敏感单元的谐振式硅微机械传感器
88200610169643.4集成光栅干涉微机械加速度传感器及其☎15542181913
89200610147846.3扭转模态下的硅微机械悬臂梁传感器驱动结构、☎15542181913及应用
90200710021134.1无线接收式微电子机械微波功率传感器及其制备方法
91200710017300.0可抵消机械振动信号的压电式次声波传感器
92200710021764.9双热电堆平衡式微电子机械微波功率传感器及其制备方法
93200710072230.9双自由度双解耦微机械振动陀螺传感器
94200710068643.X基于可变直径微光纤环的光学微机械加速度传感器及其方法
95200710022367.3用于风向传感器封装的微电子机械传感器封装结构
96200710024494.7多层梁结构的电容式微机械温度传感器
97200710104262.2用于塑料加工机械的传感器和这种传感器的运行方法
98200710045617.5六维力传感器装配机械手姿态及力的控制方法
99200580048189.0带有双膜片的微机械膜片传感器
100200580044879.9振荡微机械角速度传感器
101200480037196.6机械运动传感器以及低功率触发电路
102200710132952.9微电子机械可重构宽频带微波功率传感器及其制备方法
103200680006795.0制造微加工电容式超声传感器的表面微机械工艺
104200680028076.9用于微机械测量加速度的方法和微机械加速度传感器
105200810113421.X一种双谐振梁式微机械压力传感器
106200810088654.9机械绳索升降机线缆的感应传感器的监控装置
107200710098680.5一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器
108200810124428.1微机械二维风速风向传感器及其信号处理电路
109200780008668.9微机械的转速传感器
110200810212202.7微机械传感器或致动器组件及其生产方法
11103259423.2硅微机械倾角传感器
112200420032849.9机械式机油传感器
113200320123633.9光－机械式微梁阵列热型红外图象传感器
114200420077706.X便于更换的机械式传感器
115200420079786.2直接加热终端式微电子机械系统微波功率传感器
116200420079235.6间接加热终端式微波功率微机械传感器
117200420029424.2机械式气压传感器
118200420079617.9在线微波功率微机械传感器
119200420080945.0机械式料传感器
120200420080212.7基于微机械加工的风速传感器
121200420017924.4机械式机油压力传感器
122200520079505.8微机械式三轴角速率传感器
123200520073368.7断路器机械特性测试传感器万用夹具
124200520009504.6磁力机械氧传感器
125200520010432.7汽油机机械式油位传感器
126200520024986.2微机械角加速度传感器
127200620110359.5机械式机油传感器
128200520046894.4数字式测速、定位传感器的机械接口装置，
202136742.6一种高固有频率的量程可达200万m，s2的微机械加速度传感器
302120366.0一种快速缓解手闸的机械传感器
401811623.X用于检测力或振动的机械电传感器
503129302.6微机械传感器气密封装用等温凝固方法
695194455.X微型机械记忆传感器
789104906.1机械传感器
889100488.2拉线机械传动输出电量的长度、角度测量的传感方法和拉线机械传动输出电量的长度，角度传感器
991103380.7机械扫描式焊缝跟踪光电传感器
1099803021.X根据第一位置测量机械压力变形和根据该压力自动进行校正的形变测量传感器
11200710139610.X微机械热流式传感器的加工方法
12200610112937.3微机械硅谐振式气体流速传感器
13200580044862.3振荡微机械角速度传感器
14200610053558.1硅微机械谐振式微压传感器芯片的结构及制造方法
15200680021779.9微机械运动传感器的制造方法以及微机械运动传感器
16200710196832.5工作机械中的温度传感器的异常检测方法
17200710300105.9工作机械中的温度传感器的异常检测方法
18200680022953.1微机械加工的麦克风和多传感器及其制造方法
19200680024868.9微机械传感器、传感器阵列和方法
20200680025913.2通过机械微创外科手术过程中联合传感器和，或照相机导出数据实现3－D刀具跟踪的方法与系统
21200810009229.6用于胃束带压力测量的外部机械压力传感器
2202272789.2带光电传感器的十进制机械计数机构
2302269471.4机械传感器常开式全自动拦车器
2402266744.X一种量程可达200万m，s2的微机械加速度传感器
2502280475.7机械式气压传感器
2694238685.X报警器用的机械式传感器
2787217536工程机械自动找平纵向控制传感器
2888203086.8工程机械自动找平横向控制传感器
2989201094.0拉线机械传动输出电量的长度、角度传感器
3093235834.9机械举升式油井光杆悬重传感器
3195233042.3面粉机械物料流量传感器
3295242302.2差动式石英晶片机械量传感器
3396201397.8用于测量真空断路器机械参数的传感器
3400209432.0计数器机械传感器
3500217895.8微机械梳状电容式加速度传感器
3602209029.0用于变间距电容式非接触型角位移传感器的机械传动装置
3701238754.1一种量程可达20万m，s2的微机械加速度传感器
3802210209.4机械扭矩传感器
39200720038336.2多层梁结构的电容式微机械温度传感器
40200720304824.3二维机械接触式焊缝跟踪传感器
41200720188305.5机械式机油传感器
42200410064949.4基于微机械加工的风速传感器及其制造方法
43200410064684.8在线微波功率微机械传感器及其制造方法
44200410064748.4直接加热终端式微电子机械系统微波功率传感器及其制备方法
45200410041882.2间接加热终端式微波功率微机械传感器及其制备方法
46200410091549.2共振隧穿微机械力传感器及其制造方法
47200410065873.7光纤微电子机械系统压力传感器及其复用结构
48200410101006.4提高单梁结构微机械谐振压力传感器激励性能的方法
49200510008053.9湿法腐蚀制造的微机械电容式加速度传感器
5003814399.2在纺织机械中用于评测传感器信号的方法和装置
5103132188.7一种硅微机械倾角传感器和☎15542181913
5201821908.X表面微型机械加工的绝对压力传感器及其制造方法
5303157391.6用于微机械传感器的半频驱动及闭环方法
5403138275.4机械形变量检测传感器
55200310112820.1光－机械式微梁阵列热型红外图象传感器
56200480018294.5六自由度微机械多传感器
57200610009083.6用于图像传感器的机械快门装置
58200510111362.9三维集成微机械加速度传感器及☎15542181913
5902822246.6机械感测装置和冲撞能量传感器
60200510012602.X量程可机械调理的应变传感器及其制造方法
61200510089698.X高灵敏度的电容性显微机械加工的超声波传感器
62200510012884.3微机械角加速度传感器
63200480003438.X建筑机械中臂角度传感器装置
64200510130477.2纳米结构微机械生化传感器
65200610009135.X图像传感器中采用化学机械抛光的自对准金属硅化物工艺
66200610046364.9一种机械字轮计数器非接触读数传感器及设计方法
67200480023755.8装有传感器并且由算法控制的直接机械式心室辅助装置
68200610026522.4一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法
69200610040599.7基于微机械系统的非热式流速流向传感器
70200610040600.6基于微机械技术的电容非热式流速传感器
71200610040701.3基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器
72200610012108.8电阻拾振式硅微机械谐振传感器的锁相闭环系统
73200480028542.4通过使用垫调节器的传感器信号控制化学机械抛光的方法及系统
74200510026035.3微机械压力传感器及其圆片级封装方法
75200610089391.4电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环
76200610089390.X电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环
77200610092829.4尤其用于地面输送机械的电转向装置的旋转角传感器
78200510088633.3采用微机械加工热隔离结构的热式传感器及其制造方法
79200510092880.0单片单晶硅微机械加工的电容式压力传感器
80200610029423.1基于（111）硅的微机械加速度传感器及制造方法
81200610114276.8电磁－压阻式微机械谐振梁传感器
82200510096134.9微机械式三轴角速率传感器
83200510015413.8机械式计数器传感器
84200610118484.5微机械电容式加速度传感器及☎15542181913
85200610098136.6硅微机械两维倾角传感器芯片及☎15542181913
86200610165575.4一种“中”字形谐振式硅微机械压力传感器
87200610165574.X具有辅助敏感单元的谐振式硅微机械传感器
88200610169643.4集成光栅干涉微机械加速度传感器及其☎15542181913
89200610147846.3扭转模态下的硅微机械悬臂梁传感器驱动结构、☎15542181913及应用
90200710021134.1无线接收式微电子机械微波功率传感器及其制备方法
91200710017300.0可抵消机械振动信号的压电式次声波传感器
92200710021764.9双热电堆平衡式微电子机械微波功率传感器及其制备方法
93200710072230.9双自由度双解耦微机械振动陀螺传感器
94200710068643.X基于可变直径微光纤环的光学微机械加速度传感器及其方法
95200710022367.3用于风向传感器封装的微电子机械传感器封装结构
96200710024494.7多层梁结构的电容式微机械温度传感器
97200710104262.2用于塑料加工机械的传感器和这种传感器的运行方法
98200710045617.5六维力传感器装配机械手姿态及力的控制方法
99200580048189.0带有双膜片的微机械膜片传感器
100200580044879.9振荡微机械角速度传感器
101200480037196.6机械运动传感器以及低功率触发电路
102200710132952.9微电子机械可重构宽频带微波功率传感器及其制备方法
103200680006795.0制造微加工电容式超声传感器的表面微机械工艺
104200680028076.9用于微机械测量加速度的方法和微机械加速度传感器
105200810113421.X一种双谐振梁式微机械压力传感器
106200810088654.9机械绳索升降机线缆的感应传感器的监控装置
107200710098680.5一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器
108200810124428.1微机械二维风速风向传感器及其信号处理电路
109200780008668.9微机械的转速传感器
110200810212202.7微机械传感器或致动器组件及其生产方法
11103259423.2硅微机械倾角传感器
112200420032849.9机械式机油传感器
113200320123633.9光－机械式微梁阵列热型红外图象传感器
114200420077706.X便于更换的机械式传感器
115200420079786.2直接加热终端式微电子机械系统微波功率传感器
116200420079235.6间接加热终端式微波功率微机械传感器
117200420029424.2机械式气压传感器
118200420079617.9在线微波功率微机械传感器
119200420080945.0机械式料传感器
120200420080212.7基于微机械加工的风速传感器
121200420017924.4机械式机油压力传感器
122200520079505.8微机械式三轴角速率传感器
123200520073368.7断路器机械特性测试传感器万用夹具
124200520009504.6磁力机械氧传感器
125200520010432.7汽油机机械式油位传感器
126200520024986.2微机械角加速度传感器
127200620110359.5机械式机油传感器
128200520046894.4数字式测速、定位传感器的机械接口装置，
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