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0012-0011、框架结构差分电容式加速度传感器
0003-0012、双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法
0004-0013、制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器
0015-0014、微机械电容式加速度传感器及制作方法
0013-0015、水银电容式加速度传感器
0008-0016、静电电容型加速度传感器及其制造方法
0011-0017、电容性加速度传感器
0017-0018、电容式加速度传感器信号变换电路