加速度传感器制作方法 加速度传感器制作技术 加速度传感器生产工艺
1 02111345.9 湿法腐蚀制造微机械电容式加速度传感器及其结构
2 02146782.X 环振式数字加速度传感器
3 02151296.5 单片集成的直拉直压微梁结构压阻加速度传感器及制作方法
4 02150516.0 加速度传感器以及计步器
5 02136742.6 一种高固有频率的量程可达200万m，s2的微机械加速度传感器
6 02137897.5 一种双E型圆膜片十字梁结构的六轴加速度传感器
7 03104781.5 MEMS压阻式伺服加速度传感器及其制备方法
8 03103820.4 加速度传感器
9 03106657.7 加速度传感器
10 03117656.9 全光型硅微谐振式二维加速度传感器
11 03137809.9 加速度传感器
12 03108214.9 加速度传感器
13 01814442.X 加速度传感器及其制造方法
14 02802646.2 落下冲击测量系统及用于该系统的加速度传感器用元件
15 02143502.2 加速度传感器
16 95116390.6 半导体加速度传感器
17 96122837.7 加速度传感器，其制造方法和用该传感器的冲击检测装置
18 97102672.6 半导体加速度传感器
19 97109504.3 半导体加速度传感器
20 90103465.7 一种硅梁压阻加速度传感器及其制造方法
21 92101089.3 气体线加速度传感器
22 91111605.2 一种加速度传感器
23 93118450.9 一种坡度角和加速度传感器
24 95107246.3 加速度传感器
25 95116343.4 加速度传感器
26 97102821.4 半导体加速度传感器
27 97113221.6 半导体加速度传感器
28 97117619.1 加速度传感器
29 97116107.0 半导体集成电容性加速度传感器及其制造方法
30 97114505.9 半导体加速度传感器的制造方法
31 96197214.9 单体加速度传感器
32 97121626.6 双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法
33 98119591.1 加速度传感器与三轴加速度传感器
34 99106299.X 压电型加速度传感器及其制造方法和加速度检测方法
35 99800679.3 加速度传感器及使用该加速度传感器的加速度装置
36 00126172.X 集成硅微电阻式加速度传感器及其制造加工方法
37 01120663.2 加速度传感器和加速度检测装置及定位装置
38 01126836.0 曲面贴合过载保护的硅微加速度传感器及制造方法
39 02116842.3 微型硅桥式热对流加速度传感器
40 02111212.6 深沟侧壁扩散和电绝缘薄膜填充制造压阻加速度传感器
41 200710152427.3 加速度传感器
42 200710191247.6 单芯片三轴加速度传感器
43 200680021814.7 制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器
44 200810004601.4 双加速度传感器系统
45 200710306261.6 加速度传感器
46 200680028324.X 加速度传感器校正设备及加速度传感器的输出值校正方法
47 200710063990.3 二维磁性流体加速度传感器
48 200710063991.8 磁性流体加速度传感器
49 200710063992.2 准二维磁性流体加速度传感器
50 200580051337.4 加速度传感器装置及传感器装置
51 02235859.5 侵彻高冲击过载测控用压电薄膜加速度传感器
52 02210940.4 硅微加速度传感器
53 01215880.1 加速度传感器
54 02266744.X 一种量程可达200万m，s2的微机械加速度传感器
55 02226323.3 一种加速度传感器
56 93245636.7 摆锤式加速度传感器
57 86202572 偏振光型加速度传感器
58 86209155 聚偏氟乙烯压电薄膜加速度传感器
59 87208367 磁电式加速度传感器
60 90209813.6 定向压电加速度传感器
61 90215390.0 双岛五梁结构单块硅加速度传感器
62 91211208.5 全方位倾斜加速度传感器
63 91209265.3 带有自检功能的压阻式加速度传感器
64 93215956.7 压电复合加速度传感器
65 93234218.3 半导体加速度传感器
66 91231281.5 一种加速度传感器
67 94217112.8 加速度传感器
68 95239651.3 切向加速度传感器
69 95240948.8 加速度传感器
70 95241197.0 双向加速度传感器
71 97209470.9 基于隧道效应的加速度传感器
72 98224574.2 栅结构电容式微型加速度传感器
73 98204528.X 助力车智能控制用测蹬速、蹬加速度传感器
74 97235937.0 二向高g值加速度传感器
75 99230479.2 厚膜压阻式三轴向加速度传感器
76 00248228.2 集成硅微电阻式加速度传感器
77 00217895.8 微机械梳状电容式加速度传感器
78 00208869.X 加速度传感器
79 01263910.9 强冲击刚体运动加速度传感器
80 01246104.0 一种具有圆环状压电陶瓷多层膜结构的加速度传感器
81 01218061.0 差动式压电加速度传感器
82 01238754.1 一种量程可达20万m，s2的微机械加速度传感器
83 200720023876.3 液体型加速度传感器
84 200720023597.7 加速度传感器测量装置
85 200720031983.0 加速度传感器机芯
86 200720102231.9 三轴热对流加速度传感器
87 200720102808.6 三轴集成压阻式加速度传感器
88 200410061836.9 半导体加速度传感器及其制备方法
89 200410061861.7 加速度传感器
90 200410061862.1 加速度传感器
91 200410052606.6 平面光波导的微重力加速度传感器及测量方法
92 200410043143.7 加速度传感器
93 200410079742.4 加速度传感器
94 200410083429.8 加速度传感器单元
95 03121845.8 加速度传感器及其制造方法
96 200410063839.6 加速度传感器和加速度传感器的制造方法
97 03804478.1 加速度传感器
98 03806400.6 半导体器件的制造方法以及加速度传感器
99 200510008053.9 湿法腐蚀制造的微机械电容式加速度传感器
100 200510042494.0 一种加速度传感器 ，
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2 02146782.X 环振式数字加速度传感器
3 02151296.5 单片集成的直拉直压微梁结构压阻加速度传感器及制作方法
4 02150516.0 加速度传感器以及计步器
5 02136742.6 一种高固有频率的量程可达200万m，s2的微机械加速度传感器
6 02137897.5 一种双E型圆膜片十字梁结构的六轴加速度传感器
7 03104781.5 MEMS压阻式伺服加速度传感器及其制备方法
8 03103820.4 加速度传感器
9 03106657.7 加速度传感器
10 03117656.9 全光型硅微谐振式二维加速度传感器
11 03137809.9 加速度传感器
12 03108214.9 加速度传感器
13 01814442.X 加速度传感器及其制造方法
14 02802646.2 落下冲击测量系统及用于该系统的加速度传感器用元件
15 02143502.2 加速度传感器
16 95116390.6 半导体加速度传感器
17 96122837.7 加速度传感器，其制造方法和用该传感器的冲击检测装置
18 97102672.6 半导体加速度传感器
19 97109504.3 半导体加速度传感器
20 90103465.7 一种硅梁压阻加速度传感器及其制造方法
21 92101089.3 气体线加速度传感器
22 91111605.2 一种加速度传感器
23 93118450.9 一种坡度角和加速度传感器
24 95107246.3 加速度传感器
25 95116343.4 加速度传感器
26 97102821.4 半导体加速度传感器
27 97113221.6 半导体加速度传感器
28 97117619.1 加速度传感器
29 97116107.0 半导体集成电容性加速度传感器及其制造方法
30 97114505.9 半导体加速度传感器的制造方法
31 96197214.9 单体加速度传感器
32 97121626.6 双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法
33 98119591.1 加速度传感器与三轴加速度传感器
34 99106299.X 压电型加速度传感器及其制造方法和加速度检测方法
35 99800679.3 加速度传感器及使用该加速度传感器的加速度装置
36 00126172.X 集成硅微电阻式加速度传感器及其制造加工方法
37 01120663.2 加速度传感器和加速度检测装置及定位装置
38 01126836.0 曲面贴合过载保护的硅微加速度传感器及制造方法
39 02116842.3 微型硅桥式热对流加速度传感器
40 02111212.6 深沟侧壁扩散和电绝缘薄膜填充制造压阻加速度传感器
41 200710152427.3 加速度传感器
42 200710191247.6 单芯片三轴加速度传感器
43 200680021814.7 制造电容式加速度传感器的方法和电容式加速度传感器
44 200810004601.4 双加速度传感器系统
45 200710306261.6 加速度传感器
46 200680028324.X 加速度传感器校正设备及加速度传感器的输出值校正方法
47 200710063990.3 二维磁性流体加速度传感器
48 200710063991.8 磁性流体加速度传感器
49 200710063992.2 准二维磁性流体加速度传感器
50 200580051337.4 加速度传感器装置及传感器装置
51 02235859.5 侵彻高冲击过载测控用压电薄膜加速度传感器
52 02210940.4 硅微加速度传感器
53 01215880.1 加速度传感器
54 02266744.X 一种量程可达200万m，s2的微机械加速度传感器
55 02226323.3 一种加速度传感器
56 93245636.7 摆锤式加速度传感器
57 86202572 偏振光型加速度传感器
58 86209155 聚偏氟乙烯压电薄膜加速度传感器
59 87208367 磁电式加速度传感器
60 90209813.6 定向压电加速度传感器
61 90215390.0 双岛五梁结构单块硅加速度传感器
62 91211208.5 全方位倾斜加速度传感器
63 91209265.3 带有自检功能的压阻式加速度传感器
64 93215956.7 压电复合加速度传感器
65 93234218.3 半导体加速度传感器
66 91231281.5 一种加速度传感器
67 94217112.8 加速度传感器
68 95239651.3 切向加速度传感器
69 95240948.8 加速度传感器
70 95241197.0 双向加速度传感器
71 97209470.9 基于隧道效应的加速度传感器
72 98224574.2 栅结构电容式微型加速度传感器
73 98204528.X 助力车智能控制用测蹬速、蹬加速度传感器
74 97235937.0 二向高g值加速度传感器
75 99230479.2 厚膜压阻式三轴向加速度传感器
76 00248228.2 集成硅微电阻式加速度传感器
77 00217895.8 微机械梳状电容式加速度传感器
78 00208869.X 加速度传感器
79 01263910.9 强冲击刚体运动加速度传感器
80 01246104.0 一种具有圆环状压电陶瓷多层膜结构的加速度传感器
81 01218061.0 差动式压电加速度传感器
82 01238754.1 一种量程可达20万m，s2的微机械加速度传感器
83 200720023876.3 液体型加速度传感器
84 200720023597.7 加速度传感器测量装置
85 200720031983.0 加速度传感器机芯
86 200720102231.9 三轴热对流加速度传感器
87 200720102808.6 三轴集成压阻式加速度传感器
88 200410061836.9 半导体加速度传感器及其制备方法
89 200410061861.7 加速度传感器
90 200410061862.1 加速度传感器
91 200410052606.6 平面光波导的微重力加速度传感器及测量方法
92 200410043143.7 加速度传感器
93 200410079742.4 加速度传感器
94 200410083429.8 加速度传感器单元
95 03121845.8 加速度传感器及其制造方法
96 200410063839.6 加速度传感器和加速度传感器的制造方法
97 03804478.1 加速度传感器
98 03806400.6 半导体器件的制造方法以及加速度传感器
99 200510008053.9 湿法腐蚀制造的微机械电容式加速度传感器
100 200510042494.0 一种加速度传感器 ，
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