1　 02111345.9　 湿法腐蚀制造微机械电容式加速度传感器及其结构
2　 02136742.6　 一种高固有频率的量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器
3　 02120366.0　 一种快速缓解手闸的机械传感器
4　 01811623.1　 用于检测力或振动的机械电传感器
5　 03129302.6　 微机械传感器气密封装用等温凝固方法
6　 95194455.1　 微型机械记忆传感器
7　 89104906.X　 机械传感器
8　 89100488.2　 拉线机械传动输出电量的长度、角度测量的传感方法和拉线机械传动输出电量的长度,角度传感器
9　 91103380.7　 机械扫描式焊缝跟踪光电传感器
10　 99803020.1　 根据第一位置测量机械压力变形和根据该压力自动进行校正的形变测量传感器
11　 200710139610.1　 微机械热流式传感器的加工方法
12　 200610112937.3　 微机械硅谐振式气体流速传感器
13　 200580044862.3　 振荡微机械角速度传感器
14　 200610053558.X　 硅微机械谐振式微压传感器芯片的结构及制造方法
15　 200680021779.9　 微机械运动传感器的制造方法以及微机械运动传感器
16　 200710196832.5　 工作机械中的温度传感器的异常检测方法
17　 200710300105.9　 工作机械中的温度传感器的异常检测方法
18　 200680022953.X　 微机械加工的麦克风和多传感器及其制造方法
19　 200680024868.9　 微机械传感器、传感器阵列和方法
20　 200680025913.2　通过机械微创外科手术过程中联合传感器和/或照相机导出数据实现3-D刀具跟踪方法与系统
21　 200810009229.6　 用于胃束带压力测量的外部机械压力传感器
22　 02272789.2　 带光电传感器的十进制机械计数机构
23　 02269470.4　 机械传感器常开式全自动拦车器
24　 02266744.1　 一种量程可达200万m/s2的微机械加速度传感器
25　 02280475.7　 机械式气压传感器
26　 94238685.1　 报警器用的机械式传感器
27　 87217536　 工程机械自动找平纵向控制传感器
28　 88203086.8　 工程机械自动找平横向控制传感器
29　 89201094.0　 拉线机械传动输出电量的长度、角度传感器
30　 93235834.9　 机械举升式油井光杆悬重传感器
31　 95233042.3　 面粉机械物料流量传感器
32　 95242302.2　 差动式石英晶片机械量传感器
33　 96201397.8　 用于测量真空断路器机械参数的传感器
34　 00209432.0　 计数器机械传感器
35　 00217895.8　 微机械梳状电容式加速度传感器
36　 02209029.0　 用于变间距电容式非接触型角位移传感器的机械传动装置
37　 01238754.X　 一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器
38　 02210209.4　 机械扭矩传感器
39　 200720038336.2　 多层梁结构的电容式微机械温度传感器
40　 200720304824.3　 二维机械接触式焊缝跟踪传感器
41　 200720188305.5　 机械式机油传感器
42　 200410064949.4　 基于微机械加工的风速传感器及其制造方法
43　 200410064684.8　 在线微波功率微机械传感器及其制造方法
44　 200410064748.4　 直接加热终端式微电子机械系统微波功率传感器及其制备方法
45　 200410041882.2　 间接加热终端式微波功率微机械传感器及其制备方法
46　 200410091549.2　 共振隧穿微机械力传感器及其制造方法
47　 200410065873.7　 光纤微电子机械系统压力传感器及其复用结构
48　 200410101006.4　 提高单梁结构微机械谐振压力传感器激励性能方法
49　 200510008053.9　 湿法腐蚀制造的微机械电容式加速度传感器
50　 03814399.2　 在纺织机械中用于评测传感器信号方法和装置
51　 03132188.7　 一种硅微机械倾角传感器和制作方法
52　 01821908.1　 表面微型机械加工的绝对压力传感器及其制造方法
53　 03157390.6　 用于微机械传感器的半频驱动及闭环方法
54　 03138275.4　 机械形变量检测传感器
55　 200310112820.X　 光-机械式微梁阵列热型红外图象传感器
56　 200480018294.5　 六自由度微机械多传感器
57　 200610009083.6　 用于图像传感器的机械快门装置
58　 200510111362.9　 三维集成微机械加速度传感器及制作方法
59　 02822246.6　 机械感测装置和冲撞能量传感器
60　 200510012602.1　 量程可机械调理的应变传感器及其制造方法
61　 200510089698.1　 高灵敏度的电容性显微机械加工的超声波传感器
62　 200510012884.3　 微机械角加速度传感器
63　 200480003438.1　 建筑机械中臂角度传感器装置
64　 200510130477.2　 纳米结构微机械生化传感器
65　 200610009135.1　 图像传感器中采用化学机械抛光的自对准金属硅化物工艺
66　 200610046364.9　 一种机械字轮计数器非接触读数传感器及设计方法
67　 200480023755.8　 装有传感器并且由算法控制的直接机械式心室辅助装置
68　 200610026522.4　 一种基于微电子机械系统的光学电流传感器、制作及检测方法
69　 200610040599.7　 基于微机械系统的非热式流速流向传感器
70　 200610040600.6　 基于微机械技术的电容非热式流速传感器
71　 200610040700.3　 基于微机械技术的压阻非热式流速流向传感器
72　 200610012108.8　 电阻拾振式硅微机械谐振传感器的锁相闭环系统
73　 200480028542.4　 通过使用垫调节器的传感器信号控制化学机械抛光方法及系统
74　 200510026035.3　 微机械压力传感器及其圆片级封装方法
75　 200610089390.4　 电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环
76　 200610089390.1　 电阻拾振式硅微机械谐振传感器的数字锁相闭环
77　 200610092829.4　 尤其用于地面输送机械的电转向装置的旋转角传感器
78　 200510088633.3　 采用微机械加工热隔离结构的热式传感器及其制造方法
79　 200510092880.0　 单片单晶硅微机械加工的电容式压力传感器
80　 200610029423.X　 基于(111、硅的微机械加速度传感器及制造方法
81　 200610114276.8　 电磁-压阻式微机械谐振梁传感器
82　 200510096134.9　 微机械式三轴角速率传感器
83　 200510015413.8　 机械式计数器传感器
84　 200610118484.5　 微机械电容式加速度传感器及制作方法
85　 200610098136.6　 硅微机械两维倾角传感器芯片及制作方法
86　 200610165575.4　 一种“中”字形谐振式硅微机械压力传感器
87　 200610165574.1　 具有辅助敏感单元的谐振式硅微机械传感器
88　 200610169643.4　 集成光栅干涉微机械加速度传感器及其制作方法
89　 200610147846.3　 扭转模态下的硅微机械悬臂梁传感器驱动结构、制作方法及应用
90　 200710021134.X　 无线接收式微电子机械微波功率传感器及其制备方法
91　 200710017300.0　 可抵消机械振动信号的压电式次声波传感器
92　 200710021764.9　 双热电堆平衡式微电子机械微波功率传感器及其制备方法
93　 200710072230.9　 双自由度双解耦微机械振动陀螺传感器
94　 200710068643.1　 基于可变直径微光纤环的光学微机械加速度传感器及其方法
95　 200710022367.3　 用于风向传感器封装的微电子机械传感器封装结构
96　 200710024494.7　 多层梁结构的电容式微机械温度传感器
97　 200710104262.2　 用于塑料加工机械的传感器和这种传感器的运行方法
98　 200710045617.5　 六维力传感器装配机械手姿态及力的控制方法
99　 200580048189.0　 带有双膜片的微机械膜片传感器
100　 200580044879.9　 振荡微机械角速度传感器
101　 200480037196.6　 机械运动传感器以及低功率触发电路
102　 200710132952.9　 微电子机械可重构宽频带微波功率传感器及其制备方法
103　 200680006795.0　 制造微加工电容式超声传感器的表面微机械工艺
104　 200680028076.9　 用于微机械测量加速度方法和微机械加速度传感器
105　 200810113420.1　 一种双谐振梁式微机械压力传感器
106　 200810088654.9　 机械绳索升降机线缆的感应传感器的监控装置
107　 200710098680.5　 一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器
108　 200810124428.X　 微机械二维风速风向传感器及其信号处理电路
109　 200780008668.9　 微机械的转速传感器
110　 200810212202.7　 微机械传感器或致动器组件及其生产方法
111　 03259423.2　 硅微机械倾角传感器
112　 200420032849.9　 机械式机油传感器
113　 200320123633.9　 光-机械式微梁阵列热型红外图象传感器
114　 200420077706.1　 便于更换的机械式传感器
115　 200420079786.2　 直接加热终端式微电子机械系统微波功率传感器
116　 200420079235.6　 间接加热终端式微波功率微机械传感器
117　 200420029424.2　 机械式气压传感器
118　 200420079617.9　 在线微波功率微机械传感器
119　 200420080945.0　 机械式料传感器
120　 200420080212.7　 基于微机械加工的风速传感器
121　 200420017924.4　 机械式机油压力传感器
122　 200520079505.8　 微机械式三轴角速率传感器
123　 200520073368.7　 断路器机械特性测试传感器万用夹具
124　 200520009504.6　 磁力机械氧传感器
125　 200520010432.7　 汽油机机械式油位传感器
126　 200520024986.2　 微机械角加速度传感器
127　 200620110359.5　 机械式机油传感器
128　 200520046894.4　 数字式测速、定位传感器的机械接口装置